Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M

Предназначены для работы с магнетронными распылительными системами в постоянном или импульсном режимах. Серия включает источники питания мощностью от 1.5 до 100 кВт

Источники электропитания для смещения подложки серии APEL-SB

Предназначены для подачи постоянного и импульсного электрического смещения на подложки в процессе нанесения покрытий. Включает источники питания с выходным напряжением от 330 до 1200 В

Источники электропитания для ионных источников серии APEL-IS

Предназначены для работы с ионными источниками с замкнутым дрейфом электронов. Серия APEL-IS включает в себя источники питания c выходным напряжением 2000 В, 3500 В и 5000 В

Высоковольтные источники питания постоянного тока серии APEL-HV-DC

Серия высоковольтных источников питания постоянного напряжения от 2 до 30 кВ

Источники электропитания накала APEL-H

Источники электропитания постоянным и переменным током для накала катодов, тигелей, и пр.

Магнетронные распылительные системы

В зависимости от поставленных задач мы можем предложить протяженные магнетроны с вращающимся цилиндрическим катодом, протяженные планарные магнетроны с прямоугольным катодом, планарные магнетроны с круглым катодом.

Ионные источники с замкнутым дрейфом электронов

Для очистки и травления поверхности перед нанесением покрытий мы предлагаем протяженные ионные источники и круглые ионные источники с размещением внутри вакуумной камеры, и с фланцевым креплением.

Технологии нанесения тонкопленочных покрытий

Вакуумные установки для нанесения тонкопленочных покрытий

На основе разрабатываемых технологических устройств и источников питания для них мы можем разработать и изготовить комплектные вакуумные установки различного назначения и сложности.

Источники питания для магнетронного распыления импульсами высокой мощности

HIPIMS, HPPMS