Главная   —   Библиотека   —   Наши публикации

Наши публикации

2015

1. В.О. Оскирко, А.П. Павлов, В.Д. Семенов,  Исследование формирователя биполярных импульсов для питания магнетронных распылительных систем // Доклады томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники. № 3(17), - 2015. c. 39 - 45.

2. В.О. Оскирко, А.П. Павлов, В.А.Семенов.  Источник питания для симметричного и асимметричного дуального магнетронного распыления // Известия вузов. Физика. ТГУ - 2015. – Т. 58. – № 9/2. – С.227 – 231.

3. А. А. Соловьев, С. В. Rabotkin Н.Ф. Ковшаров. Полимерные пленки с многослойные Low-E покрытия // Материалы науки в полупроводниковом производстве. - 2015. - V. 38, P. 373-380. DOI: 10.1016 / j.mssp.2015.02.051.

4. A.A. Solovyev, S.V. Rabotkin, A.V. Shipilova, A.I. Kirdyashkin, I.V. Ionov, A.N. Kovalchuk, A.S. Maznoy, V.D. Kitler, A.O. Borduleva. Solid oxide fuel cell with Ni–Al support // International Journal of Hydrogen Energy 40 (2015) pp. 14077-14084. doi:10.1016/j.ijhydene.2015.07.151

5. Соловьев А.А.  Экономичные топливные элементы для автономных энергоустановок // Природа, №5, 2015, с. 86-87.

6. Оскирко В.О., Семенов В.Д., Павлов А.П.// Применение демпфирующих цепей в импульсном источнике питания магнетронных распылительных систем. – Журнал «Вестник московского авиационного института». - 2015, т. 22, № 4, стр. 168-176.

в трудах конференций:

1. Оскирко В.О., Семенов В.Д.// Исследование рекуперативных демпфирующих цепей, определяющих траекторию движения рабочей точки при переключении транзистора. - 20-я Всероссийская научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых учёных «Научная сессия ТУСУР - 2015», Томск, 13 -15 мая, 2015 г. – Том 3. - СС. 56 - 64.

2. Oskirko V.O., Pavlov A.P., Semenov V.A.// Power supply for symmetric and asymmetric dual magnetron sputtering - 12th International Conference Gas Discharge Plasmas and Their Applications, Tomsk, Russia, September 6 – 11, 2015. – p. 109.

3. Оскирко В.О., Павлов А.П., Одиванова А.Н.// Среднечастотный  источник электропитания магнетронных распылительных систем на основе однотактного прямоходового двухтранзисторного преобразователя - Труды 12-й международной конференции “Пленки и покрытия-2015», Санкт-Петербург, Россия, 19-22 мая, 2015. – СС. 112-113.

4. Оскирко В.О., Семенов В.А., Соловьев А.А., Работкин С.В., Тесленок А.В.// Влияние плотности мощности магнетронного разряда на свойства пленок меди - Труды 12-й международной конференции “Пленки и покрытия-2015», Санкт-Петербург, Россия, 19-22 мая, 2015. – СС. 115-117.


2014
1. В.О. Оскирко, Н.С. Сочугов,  А.П. Павлов. Модульный биполярный источник питания для мощных ионно-плазменных установок // ПТЭ. – М.: МАИК. -2014. - № 5. - С. 85.

2. А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов, И.В. Ионов, А.В. Шипилова, А.Н. Ковальчук / Магнетронное формирование Ni-YSZ анодов твердооксидных топливных элементов // Электрохимия, 2014, том 50, № 7, с. 724-732.

3. A.ASolovyevN.SSochugovS.VRabotkinA.VShipilovaI.VIonov,A.NKovalchukA.OBorduleva / Application of PVD methods to solid oxide fuel cells // Applied Surface ScienceV. 310,P. 272-277. 

4. Solovyev A.A., Ionov I.V., Kovalchuk A.N., Kirdyashkin  A.I., Maznoy A.Sand Kitler V.DSintering of NiO/YSZ anode layers for metal-supported solid oxide fuel cellAdvanced Materials Research. V. 1040 (2014) pp. 155-160. 

5. Kirdyashkin A. I., Kitler V.D., Maznoy A.S., Solov’ev A.A., Kovalchuk A.N., Ionov I.V. Development of new Ni–Al porous alloys for metal-supported solid oxide fuel cells. Advanced Materials Research. V. 1040 (2014) pp 19-23.

6.  В.О. Оскирко, А.А. Соловьев , А.П. Павлов, И.В.Ионов, Н.С.Сочугов  Биполярный источник питания для реактивного магнетронного распыления // Известия вузов. Физика. ТГУ - 2014. – Т. 57. – № 11/3. – С.2933.

7. К.В. Оскомов, А.А. Соловьев, С.В. Работкин. Твердые углеродные покрытия, наносимые методом импульсного сильноточного магнетронного распыления // Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 12, с. 73-76.

8. 6. A.A. Solovyev, S.V. Rabotkin, I.V. Ionov, A.V. Shipilova, A.N. Kovalchuk and A.O. Borduleva. Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films // Journal of Physics: Conference Series 552 (2014) 012010.

9. Работкин С.В., Соловьев А.А., Ковшаров Н.Ф., Пуговкин М.М., Сочугов Н.С. Теплосберегающий укрывной материал для теплиц // Известия вузов. Физика. – 2014. – Т. 57. – №10/3. – С. 226-230.

10. Захаров А.А., Ковшаров Н.Ф., Оскомов К.В., Соловьев А.А.  Электрохромное устройство коплиментарного типа с полимерным гель-электролитом // Известия вузов. Физика. – 2014. – Т. 57. – №10/3. – С. 148-151.

 

 

 

2013

1. N.S. Sochugov, A.A. Soloviev, A.V. Shipilova, S.V. Rabotkin, V.P. Rotshtein, I.T. Sigfusson. The effect of pulsed electron beam pretreatment of magnetron sputtered ZrO2:Y2O3 films on the performance of IT-SOFC // Solid State Ionics, 2013, V. 231, p.  11–17.

2. А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов, И.В. Ионов, А.И. Кирдяшкин, В.Д. Китлер, А.С. Мазной, Ю.М. Максимов, Т.И. Сигфуссон. Синтез и исследование пористых Ni – Al подложек для твердооксидных топливных элементов // Перспективные материалы, 2013, № 4, 31-38.

4. Н.С. Сочугов, В.О. Оскирко, Р.Е.Спирин,  Источник питания для магнетронных распылительных систем // ПТЭ. – М.: МАИК. - 2013. № 2. С. 62-68.

2012

1. А. Н. Захаров, Н. Ф. Ковшаров, К. В. Оскомов, С. В. Работкин, А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов, Свойства низкоэмиссионных покрытий на основе Ag и Сu, нанесенных на полимерную пленку методом магнетронного распыления. // Перспективные материалы.  –2012. – №2. – С. 62 – 70.

2. Козырев А.В.,  Сочугов Н.С., Захаров А.Н., Оскирко В.О., Семенов В.А., Семенюк Н.С. Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда. // Изв. вузов. Физика. - 2012. – Т. 55. – № 2. – С. 61-67.

 

3. Сочугов Н.С., Козырев А.В., Захаров Н.А., Оскирко В.О. Плазменно-иммерсионная электронная модификация поверхности твердых тел. // Изв. вузов. Физика. - 2012. – Т. 55. – № 11/2. – С.199 – 204.

 

4. Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Работкин С.В., Ионов И.В., Сигфуссон Т.И., Ковальчук А.Н. Формирование NiО/YSZ анодов твердооксидных топливных элементов методом магнетронного распыления. // Изв. вузов. Физика. - 2012. – Т. 55. – № 11/2. – С.223 – 228.

 

 5. I.V. Ionov, N.S. Sochugov, A.A. Soloviev, A.N. Kovalchuk, A.O. Tcybenko, T.I. Sigfusson. Thin Ni-YSZ Films Fabricated by Magnetron Co-Sputtering Used as Anodes for Solid Oxide Fuel Cells // Proceedings of the 7th International Forum on Strategic Technology IFOST2012, Tomsk, September 17-21, 2012, Volume 1, p. 78-81.

 

 6. А. А. Soloviev, N. S. Sochugov, I. V. Ionov, A. I. Kirdyashkin, V. D. Kitler, А. S. Maznoy, T. I. Sigfusson. Fabrication of metal-supported solid oxide fuel cells // 3rd International Congress on Radiation Physics and Chemistry of Condensed Matter, High Current Electronics and Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, September 17-21, 2012.

 

7. I.V. Ionov, N.S. Sochugov, A.A. Soloviev, A.N. Kovalchuk, A.O. Tcybenko, T.I. Sigfusson. Solid Oxide Fuel Cells With Thin Ni-YSZ Anodes Fabricated By Magnetron Co-sputtering // 3rd International Congress on Radiation Physics and Chemistry of Condensed Matter, High Current Electronics and Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, September 17-21, 2012.

 

8. S.V. Rabotkin, N.S. Sochugov, N.F. Kovsharov, M.M. Pugovkin. Installation For Magnetron Sputtering Of Multilayer Low-Emission Coatings On A Polymer Roll Film // 3rd International Congress on Radiation Physics and Chemistry of Condensed Matter, High Current Electronics and Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, September 17-21, 2012.

 

9. S.V. Rabotkin, N.S. Sochugov, N.F. Kovsharov, A.A. Soloviev, K.V. Oskomov,A.S. Grenaderov. Polymer Films With Low-E Coating To Reduce Heat Loss Through Windows // 3rd International Congress on Radiation Physics and Chemistry of Condensed Matter, High Current Electronics and Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, September 17-21, 2012.

 

 10. A.N. Zakharov, N.S. Sochugov, A.V. Kozyrev, V.O. Oskirko, V.A. Semenov. Plasma-Immersion Electron Surface Treatment of Metal Samples // 3rd International Congress on Radiation Physics and Chemistry of Condensed Matter, High Current Electronics and Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, September 17-21, 2012.

 

 11. А.А. Soloviev, N.S. Sochugov, I.V. Ionov, A.I. Kirdyashkin, V.D. Kitler, А.S. Maznoy, T.I. Sigfusson. Solid Oxide Fuel Cell on Porous Ni-Al Support // Proceedings of the 7th International Forum on Strategic Technology IFOST2012, Tomsk, September 17-21, 2012, Volume 2, p. 16-20.

 

 12. Nikolai Sochugov, Thorsteinn I. Sigfusson, A.A. Solovyev, A.I. Kirdyashkin, V.D. Kitler, А.S. Maznoy and Yurii Tyurin. Advanced Fuel Cell Development in Russia // Energy Procedia. – 2012. – V. 29. – P. 594 – 605.


 13. Soloviev А.А., Sochugov N.S., Ionov I.V., Kirdyashkin A.I., Kitler V.D., Maznoy А.S., Sigfusson T.IFabrication of Metal-Supported Solid Oxide Fuel Cells // Изв. вузов. Физика. - 2012. – Т. 55. – №12/3. – С. 150-154.

 

 2011

1. Одиванова А. Н., Подковыров В. Г., Сочугов Н. С., Оскомов К. В. Исследование характеристик плазмы сильноточной импульсной магнетронной распылительной системы // Физика плазмы. – 2011. – Т. 36. – № 1. – С. 1—6.

2. Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Шипилова А.В., Ефимова К.Б., Тумашевская А.Е.  «Среднетемпературные твердооксидные топливные элементы с тонкопленочным ZrO2:Y2O3 электролитом» // Электрохимия. – 2011. – Т. 47. – № 4. – С. 524–533.

3. Козырев А. В., Сочугов Н. С., Оскомов К. В., Захаров А. Н., Одиванова А. Н. Оптические исследования неоднородностей в плазме сильноточного импульсного магнетронного разряда // Физика плазмы. – 2011. – Т. 37. – № 6. – С. 1–7.

4. Соловьев А.А., Сочугов Н.С.,  Захаров А.Н., Работкин С.В.,  Оскомов К.В., Шпакова. Н.Ю.  Электрохромные покрытия с Ta2O5 электролитом, наносимые методом магнетронного распыления // Изв. вузов. Физика. – 2011. – Т. 54. – №11/2. – С. 162–168.

5. Работкин С.В., Соловьев А.А., Сочугов Н.С.,  Захаров А.Н., Оскомов К.В., Ковшаров Н.Ф. Полимерная пленка с низкоэмиссионным покрытием для снижения тепловых потерь через светопрозрачные конструкции // Изв. вузов. Физика. – 2011. – Т. 54. – №11/2. – С. 169–175.

6. M. C. Salvadori, F. S. Teixeira, W. W. R. Araujo, L. G. Sgubin, N. S. Sochugov, R. E. Spirin, and I. G. Brown. “A high voltage pulse power supply for metal plasma immersion ion implantation and deposition” // Rev. Sci. Instrum. – 2010. ¬– 81. – P. 124703-1 – 124703-5.

7. N.S. Sochugov, A.A. Soloviev, A.V. Shipilova and V.P. Rotshtain. An Ion-Plasma Technique for Formation of Anode-Supported Thin Electrolyte Films for IT-SOFC Applications // International Journal of Hydrogen Energy. – 2011. – V.36. – Is.9. – P. 5550–5556.

8. Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Оскомов К.В. Ионно-плазменные методы нанесения тонких пленок.LAP Lambert Academic Publishing: 2011. – 196 с. (ISBN978-3-8443-5380-8).

2010

1. А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов, К. В. Оскомов. Влияние остаточных напряжений в покрытиях TiN на удельные потери в анизотропной электротенической стали// Физика металлов и металловедение. – 2010. – Т. 109. –  № 2. – С. 120–129.

2. А.Н. Захаров, К.В. Оскомов, С.В. Работкин, А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов. Пленки легированного галлием оксида цинка, нанесенные с использованием несбалансированной магнетронной распылительной системы// Журнал технической физики. – 2010. –Т. 80. –вып. 5. – С. 127-131.

3. А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов, А.В. Шипилова, В.П. Ротштейн, А.Е. Тумашевская, К.Б. Ефимова. Формирование тонкопленочного  ZrO2-Y2O3 электролита твердооксидного топливного элемента методами импульсной электронно-пучковой обработки и магнетронного распыления// Вестник МИТХТ. – 2010. – Т. 5. – № 1 С. 51-56.

4. А. Н. Одиванова, В. Г. Подковыров, Н. С. Сочугов, К. В. Оскомов. Исследование характеристик плазмы сильноточной импульсной магнетронной распылительной системы // Физика плазмы. – 2011. – Т. 36. – № 1. – С. 1–6.

5. Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Оскомов К.В., Захаров Н.А. «Свойства многослойных ZnO:Ga/Ag/ZnO:Ga покрытий, наносимых магнетронным распылением» // Физикохимия поверхности и защита материалов, 2010, Т. 46, № 4, с. 361–366.

- в трудах конференций
1.  Zakharov A.N., Oskomov K.V., Sochugov N.S.  Optical properties of magnetron deposited SiO2 and Al2O3 films// Proc. X Int. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk, Russia, September 19—24, 2010. — PP. 583—586.

2. Shipilova A.V., Soloviev A.A., Sochugov N.S., Rotshtein V.P., Karlik K.V. Investigating the single cell of solid oxide fuel cell with thin film electrolyte fabricated by magnetron sputtering and pulsed electron beam treatment// Proc. X Int. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk, Russia, September 19—24, 2010. — PP. 633—635.

3. Rabotkin S.V., Zakharov A.N., Soloviev A.A., Sochugov N.S. Electrochromic properties of WO3- and NiO- films obtained by reactive magnetron sputtering method// Proc. X Int. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk, Russia, September 19—24, 2010. — PP. 636—639.

4. Oskomov K.V., Odivanova A.N., Sochugov N.S., Podkovyrov V.G., Pribytkov G.A. High-current pulsed magnetron sputtering of Al–Si and Ti–Si cathodes// Proc. X Int. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk, Russia, September 19—24, 2010. — PP. 640—643.

5. Soloviev A.A., Sochugov N.S., Shipilova A.V., Rabotkin S.V., Efimova K.B., Tumashevskaya A.E. Investigation of characteristics of the anode-supported solid oxide fuel cell with thin-film electrolyte deposited by electron-ion-plasma methods // Proc. X Int. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk, Russia, September 19—24, 2010. — PP. 644—647.

2009

1. Дядин В.И., Козырев А.В., Латкин А.С., Подковыров В.Г. Сочугов Н.С. Разделение минеральных смесей в импульсном бегущем магнитном поле // Обогащение руд. – 2008. –№5. – C. 39-41.

2.  А.А.Соловьев, А.Н.Захаров, С.В.Работкин, К.В.Оскомов, Н.С.Сочугов  Характеристики плазмы несбалансированной магнетронной распылительной системы и их влияние на параметры покрытий ZnO:Ga // Физика и xимия обработки материалов. – 2009, – №2. – C.58-65.

3. А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов, К. В. Оскомов, С. В. Работкин.  Исследование характеристик плазмы несбалансированной магнетронной распылительной системы // Физика плазмы. – 2009. – Т. 35. ¬– № 5. – С. 443–452.

4.  К.В. Оскомов, Н.С. Сочугов, А.А. Соловьев, С.В. Работкин. Твердые нанокристаллические углеродные покрытия на основе фуллерита // Письма в ЖТФ. – 2009. – Т. 35. – В. 19. – С. 20-29.

5. А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов, А.В. Шипилова, В.П. Ротштейн, Н.Ф. Ковшаров. Импульсная электронно – пучковая модификация поверхности пористых анодов твердооксидных топливных элементов // Альтернативная энергетика и экология. – 2009. - №9 – С. 27-32.

6. В.П. Ротштейн, А.Б. Марков, Н. Шевченко, H. Reuther, К.В. Оскомов, В.А. Шулов., Импульсное электронно-пучковое поверхностное легирование сплава ВТ6 цирконием путем перемешивания предварительно осажденной Zr/Ti пленки // Письма в ЖТФ. – 2008. – Т. 34. – Вып. 20. – С. 65-72.

7. А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов, А.В. Шипилова. Модификация поверхности пористых анодов твердооксидных топливных элементов электронно-лучевым методом. // Изв. ВУЗов Физика. – Т. 52. – №11/2. – С. 206 – 211.

- в трудах конференций
1. Исследование характеристик плазмы сильноточной  импульсной магнетронной распылительной системы/ А. Н. Рыбина, В. Г. Подковыров, Н. С. Сочугов //Материалы IV Всероссийской конференция молодых ученых «Материаловедение, технологии и экология в III тысячелетии», Томск, 19 -21 октября. –  2009.– С. 33 – 37.

2. А.В. Шипилова, А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов. Модификация пористых анодных подложек твердооксидного топливного элемента методом электронно-лучевой обработки. // Материалы IV всероссийской конференции молодых ученых Материаловедение, технологии и экология в III тысячелетии», Томск, 19 – 21 октября. –  2009. –С. 270-274.

2. Исследование характеристик плазмы сильноточной  импульсной магнетронной распылительной системы/ А. Н. Рыбина, В. Г. Подковыров, Н. С. Сочугов, К. В. Оскомов // Материалы Всероссийской конференция с элементами научной школы для молодежи «Проведение научных исследований в области индустрии наносистем и материалов», 16 – 20 ноября 2009 год, Белгород – С. 72 – 73.

2008

1. Шугуров А.Р., Панин А.В., Оскомов К.В., Особенности определения механических характеристик тонких пленок методом наноиндентирования // Физика твердого тела. – 2008. – Т. 50. – Вып.6. – С. 1007-1012.

2. В.И. Дядин, В.Ю. Кожевников, А.В. Козырев, Н.С. Сочугов. Импульсная электродинамическая сепарация малых проводящих частиц// Письма в ЖТФ, 2008, том 34, вып. 3, С. 1 – 6.

3. В. И. Дядин, В. Ю. Кожевников, А. В. Козырев, В. Г. Подковыров, Н. С. Сочугов. Метод импульсной электродинамической сепарации малых проводящих частиц// Физико-технические проблемы разработки полезных ископаемых №3 2008 С 110-115.

4. Rotshtein V.P., Ivanov Yu.F., Markov A.B., Proskurovsky D.I., Karlik K.V., Oskomov K.V., Uglov B.V., Kuleshov A.K., Novitskaya M.V., Dub S.N., Pauleau Y., Shulepov I.A., Surface alloying of stainless steel 316 with copper using pulsed electron-beam melting of film–substrate system // Surf. Coat. Technol. – 2006. - V. 200. -  P. 6378 – 6383.

- в трудах конференций
1. V.P. Rotshtein, A.B. Markov, N. Shevchenko, H. Reuther, K.V. Oskomov, V.A. Shulov, Surface Alloting of Ti-6Al-4V with Zirconium by Pulsed Electron-beam Melting of Zr/Ti Multilayers // Proceedings of 9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, Russia, 21-26 September 2008. – P. 327-330.

2. A.N. Zakharov, K.V. Oskomov, N.S. Sochugov, Transparent and Conducting ZnO:Al and ZnO:Ga Films Prepared by Magnetron Sputtering // Proceedings of 9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, Russia, 21-26 September 2008. – P. 572-575.

3. K.V. Oskomov, N.F. Kovsharov, N.S. Sochugov, A.A. Soloviev, Ion Energy Distribution Functions in an Unbalanced Magnetron Sputtering System Developed for a-C Films Deposition // Proceedings of 9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, Russia, 21-26 September 2008. – P. 635-638.

4. S.Y. Kornilov, I.V. Osipov, N.S. Sochugov, A.N. Zakharov, Use of Plasma Cathode Electron Gun for Deposition of Silicon Oxide Films // Proceedings of 9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, Russia, 21-26 September 2008. – P. 65-67.

5. A.A. Soloviev, N.F. Kovsharov, N.S. Sochugov, Investigation of Magnetron Sputtering System with Electromagnetic Coil // Proceedings of 9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, Russia, 21-26 September 2008. – P. 558-561.

6. A.N. Rybina, N.S. Sochugov, V,G, Podkovirov, Contact Glow Discharge Formation in the Electrolyte // Proceedings of 15th International Symposium on High Current Electronics, Tomsk, Russia, 21-26 September 2008. – P. 349-352.

2007

1. Markovchina A.B., Oskomov K.V., Pinzhin Yu.P., Sochugov N.S., Soloviev A.A., Pulsed Reactive Magnetron Sputtering Deposition of Nanocomposite Al-Cu-N Coatings // Изв. Вузов. Физика.-2007.-№.9 (Приложение).- С. 417 – 420.

2. Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Осокомов К.В., Structure and Degradation Mechanism of Thin Silver Films deposited by Magnetron Sputtering // Изв. вузов. Физика.-2007.-№.9 (Приложение).- С. 394 – 397.

3. Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Осокомов К.В., Influence of Deposition Parameters on Properties of Magnetron Sputtered Ag Films // Изв. вузов. Физика.-2007.-№.9 (Приложение).- С. 453 – 456.

4. Захаров А.Н., Оскомов К.В., Сочугов Н.С., Transparent Conducting Al-doped Zinc Oxide Films Reactively Sputtered on PET Substrates // Изв. вузов. Физика.-2007.-№.9 (Приложение).- С. 457 – 459.