Каталог
Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M
Предназначены для работы с магнетронными распылительными системами в постоянном или импульсном режимах. Серия включает источники питания мощностью от 1.5 до 100 кВт
Источники электропитания для смещения подложки серии APEL-SB
Предназначены для подачи постоянного и импульсного электрического смещения на подложки в процессе нанесения покрытий. Включает источники питания с выходным напряжением от 330 до 1200 В
Источники электропитания для ионных источников серии APEL-IS
Предназначены для работы с ионными источниками с замкнутым дрейфом электронов. Серия APEL-IS включает в себя источники питания c выходным напряжением 2000 В, 3500 В и 5000 В
Высоковольтные источники питания постоянного тока серии APEL-HV-DC
Серия высоковольтных источников питания постоянного напряжения от 2 до 30 кВ
Источники электропитания накала APEL-H
Источники электропитания постоянным и переменным током для накала катодов, тигелей, и пр.
Магнетронные распылительные системы
В зависимости от поставленных задач мы можем предложить протяженные магнетроны с вращающимся цилиндрическим катодом, протяженные планарные магнетроны с прямоугольным катодом, планарные магнетроны с круглым катодом.
Ионные источники с замкнутым дрейфом электронов
Для очистки и травления поверхности перед нанесением покрытий мы предлагаем протяженные ионные источники и круглые ионные источники с размещением внутри вакуумной камеры, и с фланцевым креплением.
