Главная — Каталог — Источники электропитания для ионных источников серии APEL-IS — Источник питания для ускорителей ионов с выходным напряжением до 5 кВ
Источник питания для ускорителей ионов с выходным напряжением до 5 кВ
Серия: APEL-IS-5000A
Скачать документацию (1376 кб) Оформить заказ |
Источник APEL-IS-5000A предназначен для электропитания регулируемым напряжением постоянного тока ионных источников мощностью до 2 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий. Источник имеет на выходе регулируемое постоянное напряжение положительной полярности и оснащен системой дугогашения. Управление источником питания осуществляется локально, или с компьютера по интерфейсу RS-485. Источник питания может эксплуатироваться в составе вакуумных напылительных установок, а также в научных целях при исследовании вакуумных разрядов.
В состав комплекта входит:
|