Главная — Каталог — Магнетронные распылительные системы — Сбалансированные и несбалансированные круглые магнетроны для размещения внутри вакуумной камеры
Сбалансированные и несбалансированные круглые магнетроны для размещения внутри вакуумной камеры
Серия: APEL-МR-IN
Скачать документацию (451 кб) Оформить заказ |
Планарные магнетроны с круглым катодом используются при нанесении покрытий на небольшие подложки и в лабораторных исследованиях. Простота обращения, невысокая цена делают их удобным инструментом на стадии разработки технологий. Внутреннее расположение магнетронов применяется в вакуумных камерах колпакового типа. Магнетрон может устанавливаться в любом месте вакуумной камеры, легко изменяется расстояние мишень-подложка. Недостатком такого магнетрона является использование внутри вакуумной камеры диэлектрических трубопроводов охлаждения, а также необходимость дополнительных водяных и электрических вводов. Конструкция магнетрона упрощенно приведена на рисунке.
Магнитная система магнетрона может быть выполнена как в сбалансированном, так и в несбалансированном вариантах.
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
