О компании Сертификаты Награды Партнеры Реквизиты		Новости		Каталог Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M Источники электропитания для смещения подложки серии APEL-SB Источники электропитания для ионных источников серии APEL-IS Высоковольтные источники питания постоянного тока серии APEL-HV-DC Источники электропитания накала APEL-H Магнетронные распылительные системы Ионные источники с замкнутым дрейфом электронов Источники питания для магнетронного распыления импульсами высокой мощности		Библиотека Технические описания и инструкции по эксплуатации		Вопрос-ответ		Номенклатура		Склад

Главная — Каталог — Магнетронные распылительные системы — Сбалансированные и несбалансированные круглые магнетроны с фланцевым креплением

Сбалансированные и несбалансированные круглые магнетроны с фланцевым креплением

Серия: APEL-MR

Оформить заказ

Внешнее по отношению к вакуумной камере расположение магнетрона упрощает конструкцию и число вакуумных уплотнений.
Изменяя конструкцию магнитной системы можно получить сбалансированную и несбалансированную конфигурации магнитного поля.

Технические характеристики
Параметры	Значение
Диаметр катода	75 мм	100 мм	125 мм
Толщина катода	до 10 мм
Магнитная система	постоянные магниты (SmCo, NdFeB)
Магнитное поле на поверхности катода	350-600 Гс
Тип охлаждения	прямое/косвенное
Коэффициент использования катода	30-45%
Рабочие газы	Ar, 0₂, N₂ и т.д.
Рабочее давление	0,1-1 Па
Мощность распыления	1 кВт	1,5 кВт	2,5 кВт
Плотность ионного тока на подложку	0,01-0,5 мА/см²
Отношение потока атомов к потоку ионов на подложку	0,1-0,5