Главная   —   Каталог   —   Магнетронные распылительные системы  —   Круглые магнетроны с фланцевым креплением и плавной регулировкой степени несбалансированности

Круглые магнетроны с фланцевым креплением и плавной регулировкой степени несбалансированности

Серия: APEL-МRE

Круглые магнетроны с фланцевым креплением и плавной регулировкой степени несбалансированности

Скачать документацию (679 кб)

Оформить заказ
 

Магнетрон оснащен электромагнитной катушкой, позволяющей изменять степень несбалансированности. Тем самым изменяется плотность ионного тока на подложку. Экспериментальная зависимость ионного тока на подложку от тока в электромагнитной катушке приведена на рис. 1.

Рис. 1.Зависимость ионного тока на коллектор Ii от тока в электромагнитной катушке Iс
(PАr =  0.3 Па, Uсм= -100 В, fсм = 18 кГц, мощность разряда – 2 кВт).

 Изменение плотности ионного тока дает возможность управлять свойствами растущей пленки, что может оказаться полезным при разработке новых технологий. В качестве примера, на рис. 2 приведена зависимость удельного сопротивления прозрачной проводящей пленки легированного галлием оксида цинка от тока в электромагнитной катушке магнетрона. Можно видеть, что существует оптимальный ток в катушке, а следовательно, оптимальная плотность ионного тока.

Рис. 2. Зависимость удельного сопротивления покрытий ZnO:Ga
от тока в электромагнитной катушке при температуре подложки: 1 – 20°C; 2 – 90°C.

Снимки свечения магнетрона, работающего в сбалансированном и несбалансированном режиме приведены на рис.3.

Рис. 3. Свечение магнетрона в сбалансированном (слева) и несбалансированном (справа) режимах.

Технические характеристики
Параметры Значение
Диаметр катода 75 мм 100 мм 125 мм
Толщина катода до 10 мм 
Магнитная система постоянные магниты/электромагнитная катушка
Магнитное поле на поверхности катода 350-500 Гс 
Тип охлаждения прямое/косвенное  
Коэффициент использования катода 30-40% 
Рабочие газы Ar, 02, N2 и т.д. 
Рабочее давление 0,09-1 Па 
Мощность распыления 0,75 кВт 1,5 кВт 2,5 кВт
Плотность ионного тока на подложку 0,01-2 мА/см2
Отношение потока атомов к потоку ионов на подложку 0,1-1 
Подробное описание магнетронной распылительнйо системы с электромагнитной катушкой приведено в разделе "Технические описания"