Протяженные ионные источники с замкнутым дрейфом электронов

Протяженные ионные источники с замкнутым дрейфом электронов предназначены для финишной очистки широкоформатных подложек перед нанесением покрытий, ионного ассистирования процесса нанесения покрытий. С их помощью также можно наносить покрытия методом химического газофазного осаждения.

Конструкция ионно-плазменного источника обеспечивает высокую однородность плотности ионного тока.

Устройство протяженного ионного источника с замкнутым дроейфом электронов приведено на рисунке ниже.

Полный ионный ток источника определяется расходом рабочего газа и ускоряющим напряжением. Вольтамперные характеристики ионного источника длиной 500 мм приведены на рисунке ниже.

Вольтамперные характеристики протяженного ионного источника длиной 500 мм.