Главная   —   Каталог   —   Ионные источники с замкнутым дрейфом электронов  —   Протяженные ионные источники с замкнутым дрейфом электронов

Протяженные ионные источники с замкнутым дрейфом электронов

Серия: APEL-IS-L

Протяженные  ионные источники с замкнутым дрейфом электронов

Скачать документацию (499 кб)

Оформить заказ
 

Протяженные ионные источники с замкнутым дрейфом электронов предназначены для финишной очистки широкоформатных подложек перед нанесением покрытий, ионного ассистирования процесса нанесения покрытий. С их помощью также можно наносить покрытия методом химического газофазного осаждения.

Конструкция ионно-плазменного источника обеспечивает высокую однородность плотности ионного тока.

Устройство протяженного ионного источника с замкнутым дроейфом электронов приведено на рисунке ниже.

Полный ионный ток источника определяется расходом рабочего газа и ускоряющим напряжением. Вольтамперные характеристики ионного источника длиной 500 мм приведены на рисунке ниже.

Вольтамперные характеристики протяженного ионного источника длиной 500 мм.

 

 

 

Технические характеристики
Параметры Значение
Длина 300-3000 мм
Вес не более 20 кг на 1 м
Тип монтажа внутри вакуумной камеры или на фланце

Материалы:
- корпус катода
- анод
- изоляторы
- магниты
- система газораспределения


сталь-3
12х12Н10Т
керамика и полиамид
NdFeB
12х12Н10Т

Водяное охлаждение 2-5 л/мин
Температура воды на входе <30 С0
Рабочие газы Ar, O2, N2, H2 и др.
Линейная плотность тока до 2 мА/см
Длина линейной части ионного пучка
полная длина минус 70 мм
Однородность плотности тока ионного пучка <±5% на 90% длины линейной части
Рабочее напряжение 500-5000 В
Средняя энергия ионов 250-2500 эВ
Рабочее давление 0,05-0,25 Па (4·10-4 - 2·10-3 мм.рт.ст.)
Подробные описания протяженных ионных источников можно найти на странице "Библиотека"