Круглые ионные источники с замкнутым дрейфом электронов предназначены для финишной очистки небольших подложек перед нанесением покрытий, а также для нанесения покрытий методом химического газофазного осаждения
Мы производим следующие типы круглых ионных источников:
- Круглые ионные источники, устанавливаемые внутри вакуумной камеры.
- Круглые ионные источники с фланцевым креплением.
Конструкция ионного источника с фланцевым креплением схематично представлена на рисунке ниже.
Типичные вольтамперные характеристики ионного источника с диаметром щели 15 мм приведены на рисунке ниже.
Вольтамперные характеристики малогабаритного ионного источника. Давление и расход аргона: 1 – 0,018 Па, 2 см3/мин; 2 – 0,025 Па, 3 см3/мин; 3 – 0,032 Па, 4 см3/мин.
| Технические характеристики |
| Параметры |
Значение |
| Диаметр эмитирующей щели |
10-200 мм |
| Тип монтажа |
внутри вакуумной камеры или на фланце |
|
Материалы:
- корпус катода
- анод
- изоляторы
- магниты
- система газораспределения
|
сталь-3
12х12Н10Т
керамика и полиамид
NdFeB
12х12Н10Т
|
| Водяное охлаждение |
0,5-1 л/мин |
| Температура воды на входе |
<30 С0 |
| Рабочие газы |
Ar, O2, N2, H2 и др. |
| Линейная плотность тока |
до 1 мА/см |
| Рабочее напряжение |
500-5000 В |
| Средняя энергия ионов |
250-2500 эВ |
| Рабочее давление |
0,05-0,25 Па (4·10-4 - 2·10-3 мм.рт.ст.) |
Оформить заказ
