Главная   —   Каталог   —   Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M  —   Униполярный источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 3 кВт

Униполярный источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 3 кВт

Серия: APEL-M-3PDC

Униполярный источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 3 кВт

Скачать документацию (1170 кб)

Оформить заказ
 

Источник APEL-M-3PDC предназначен для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока магнетронных распылительных систем мощностью до 3 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий.

Данная модель это модификация источника APEL-M-5PDC меньшей мощности.

Особенностью источника питания является наличие выводов для поочередного подключения двух магнетронов. Это удобно, если Ваша установка оснащена несколькими магнетронами, но они всегда работают поочередно. Переключение выходов осуществляется с передней панели, или дистанционно.

Технические характеристики
Параметры APEL-M-3PDC
Входное напряжение 220В, 50/60Гц
Максимальная выходная мощность 3 кВт
Максимальная потребляемая мощность 3,4 кВт
Диапазон регулирования выходного напряжения 65÷650 В (по желанию заказчика верхний предел напряжения может быть увеличен до 800 В при пропорциональном снижении максимального тока)
Шаг изменения выходного напряжения 5 В (по желанию заказчика может быть изменен в диапазоне от 1 до 20 В)
Диапазон регулирования выходного среднего тока 0,1-4,5 А
Шаг изменения выходного тока 0,1 А (по желанию заказчика может быть измененр в диапазоне от 10 мА до 1 А)
Диапазон регулирования выходной средней мощности 0,05-3 кВт
Шаг изменения выходной мощности 100 Вт (по желанию заказчика может быть изменен в диапазоне от 1 Вт до 500 Вт)
Амплитуда поджигающего импульса 1000 В
Тип выходного напряжения

отрицательное, постоянное, импульсное униполярное

Диапазон регулирования частоты импульса  1-100 кГц с шагом 1 кГц
Диапазон регулирования скважности 10-80%
Режимы стабилизации напряжение, ток, мощность
Точность стабилизации не хуже 3%
Амплитуда тока срабатывания дугозащиты


10 А

Время реакции на дуговой прибой 0,5 мкс
Индикация ЖК-дисплей
Охлаждение воздушное
Блокировочный вход есть
Масса 15 кг
Корпус 3U, 19”
Интерфейс RS-485