О компании Сертификаты Награды Партнеры Реквизиты		Новости		Каталог Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M Источники электропитания для смещения подложки серии APEL-SB Источники электропитания для ионных источников серии APEL-IS Высоковольтные источники питания постоянного тока серии APEL-HV-DC Источники электропитания накала APEL-H Магнетронные распылительные системы Ионные источники с замкнутым дрейфом электронов Технологии нанесения тонкопленочных покрытий Вакуумные установки для нанесения тонкопленочных покрытий Источники питания для магнетронного распыления импульсами высокой мощности Форвакуумные плазменные источники электронов для модификации поверхности диэлектрических материалов и синтеза диэлектрических покрытий.		Библиотека Технические описания и инструкции по эксплуатации Наши диссертации Наши публикации		Вопрос-ответ		Номенклатура		Склад

Главная — Каталог — Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M — Униполярный источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 3 кВт

Униполярный источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 3 кВт

Серия: APEL-M-3PDC

Скачать документацию (1478 кб)

Оформить заказ

Источник APEL-M-3PDC-650 предназначен для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока магнетронных распылительных систем мощностью до 3 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий.

Данная модель это модификация источника APEL-M-5PDC меньшей мощности.

Особенностью источника питания является наличие выводов для поочередного подключения двух магнетронов. Это удобно, если Ваша установка оснащена несколькими магнетронами, но они всегда работают поочередно. Переключение выходов осуществляется с передней панели, или дистанционно.

Технические характеристики
Параметры	APEL-M-3PDC-650
Входное напряжение	3x380В, 50/60Гц
Максимальная выходная мощность	3 кВт
Максимальная потребляемая мощность	3,6 кВт
Диапазон регулирования выходного напряжения	65÷650 В (по желанию заказчика верхний предел напряжения может быть увеличен до 800 В при пропорциональном снижении максимального тока)
Шаг изменения выходного напряжения	5 В (по желанию заказчика может быть изменен в диапазоне от 1 до 20 В)
Диапазон регулирования выходного среднего тока	0,1-4,6 А
Шаг изменения выходного тока	0,01 А
Диапазон регулирования выходной средней мощности	0,05-3 кВт
Шаг изменения выходной мощности	0.01 кВт
Амплитуда поджигающего импульса	1000 В
Тип выходного напряжения	отрицательное, постоянное, импульсное униполярное
Диапазон регулирования частоты импульса	1-100 кГц с шагом 1 кГц
Диапазон регулирования скважности	10-80%
Режимы стабилизации	напряжение, ток, мощность
Точность стабилизации	не хуже 3%
Амплитуда тока срабатывания дугозащиты	15 А
Время реакции на дуговой прибой	0,5 мкс
Индикация	ЖК-дисплей
Охлаждение	воздушное
Блокировочный вход	есть
Масса	18 кг
Корпус	3U, 19”
Интерфейс	RS-485