Главная   —   Каталог   —   Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M  —   Источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 5 кВт

Источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 5 кВт

Серия: APEL-M-5PDC

Источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью  5 кВт

Скачать документацию (1109 кб)

Оформить заказ
 

Серия источников питания APEL-M-5PDC предназначена для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока магнетронных распылительных систем мощностью до 5 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий.

Серия включает в себя источники питания с типовым выходным напряжением до 650 В и повышенным выходным напряжением до 800 В. Источники питания могут оборудоваться дополнительным выходом для поочередного подключения двух магнетронов. Это удобно, если Ваша установка оснащена несколькими магнетронами, но они всегда работают поочередно. Переключение выходов осуществляется с передней панели, или дистанционно.

Технические характеристики
Параметры APEL-M-5PDC-650-2 APEL-M-5PDC-800-2 APEL-M-5PDC-1000-2
Входное напряжение
380В, 50/60Гц 380В, 50/60Гц 380В, 50/60Гц
Максимальная выходная мощность 5 кВт 5 кВт 5 кВт
Максимальная потребляемая мощность
5,5 кВт 5,5 кВт 5,5 кВт
Диапазон регулирования выходного напряжения 65÷650 В 65÷800 В 65÷1000 В
Щаг изменения выходного напряжения 1 В 1 В 1 В
Диапазон регулирования выходного среднего тока 0,10÷8,00 А 0,10÷6,30 А 0,10÷5,00 А
Шаг изменения выходного тока 0,01 А 0,01 А 0,01 А
Диапазон регулирования выходной средней мощности
0,10÷5,00 кВт 0,10÷5,00 кВт 0,10÷5,00 кВт
Шаг изменения выходной мощности 0,01 кВт 0,01 кВт 0,01 кВт
Амплитуда поджигающего импульса
1000 В 1000 В 1000 В
Тип выходного напряжения отрицательное постоянное или импульсное униполярное отрицательное постоянное или импульсное униполярное отрицательное постоянное или импульсное униполярное
Диапазон регулирования частоты импульса  1÷100 кГц с шагом 1 кГц  1÷100 кГц с шагом 1 кГц  1÷100 кГц с шагом 1 кГц
Диапазон регулирования коэффициента заполнения
10-80% 10-80% 10-80%
Режимы стабилизации
напряжение, ток, мощность напряжение, ток, мощность напряжение, ток, мощность
Точность стабилизации не хуже 3% не хуже 3% не хуже 3%
Амплитуда тока срабатывания дугозащиты 20 А 20 А 20 А
Время реакции на дуговой прибой 0,8 мкс 0,8 мкс 0,8 мкс
Индикация ЖК-дисплей ЖК-дисплей ЖК-дисплей
Охлаждение
воздушное воздушное воздушное
Блокировочный вход есть есть есть
Дополнительный выход есть нет есть
Масса
18 кг 18 кг 18 кг
Корпус 3U, 19” 3U, 19” 3U, 19”
Интерфейс RS-485 RS-485 RS-485
Протокол управления RTU ModBus RTU ModBus RTU ModBus
Скорость обмена данными по протоколу RTU ModBus 2400...115200 Бод 2400...115200 Бод 2400...115200 Бод
 

В состав комплекта входит:

  • источник питания APEL-M-5PDC;
  • кабель для подключения к  питающей сети (четырехжильный, 3 метра);
  • кабель для подключения нагрузки (3 метра);
  • техническое описание и инструкция по эксплуатации.

Панель управления источника

 

Назначение кнопок на панели управления
  Кнопки включения и выключения выходного напряжения:
ON При нажатии кнопки на выход источника подается напряжение
OFF При нажатии кнопки происходит снятие выходного напряжения
  Кнопки управления встроенным таймером:
TIMER START/STOP Кнопка запуска и остановки таймера
TIMER/RESET Кнопка сброса таймера
  Кнопки управления дополнительными функциями:
F1 Кнопка включения/выключения поджигающего импульса (поджига). Возможно изменение под нагрузкой
F2

Не используется, или служит для переключения выходов. Изменение под нагрузкой невозможно.

REGULATION Кнопка переключения режимов стабилизации (напряжение-ток-мощность).  Возможно изменение под нагрузкой
СВЕТОДИОДНАЯ ИНДИКАЦИЯ
ARC Индикатор срабатывания дугозащиты. Загорается, если разряд переходит в дуговую форму или ток превышает максимальное значение.
RAMP Индикатор соответствия значения уставки стаблизируемого параметра выходной величине. Если индикатор мигает, то несоответствие превышает 10%, что свидетельствует о неудачном режиме работы источника.
  Индикаторы режима стабилизации:
 VOLTAGE  Напряжение
 CURRENT  Ток
 POWER  Мощность

Жидкокристаллический информационный дисплей

Технические характеристики
Назначение параметра
1 Уставка напряжения, тока или мощности, в заивисимости от режима стабилизации.
2 Режим работы: импульсный или постоянный ток.
3 Частота следования импульсов: 1...100 кГц, с шагом 1 кГц.
4 Коэффициент заполнения импульсов: 10...80 %, с шагом 1.
5 Меню перехода на экран дополнительных настроек при нажатии ручки.
6 Текущее значение выходного напряжения источника питания. В импульсном режиме работы соответствует амплитуде выходных импульсов.
7 Текущее значение выходного тока источника питания. В импульсном режиме работы отображается величина среднего выходного тока.
8 Текущее значение выходной мощности источника питания. В импульсном режиме работы отображается средняя выходная мощность.
9 Таймер обратного отсчета.
10
Меню перехода на главный экран при нажатии ручки.
11 Сетевой адрес при обмене данными по протоколу RTU ModBus: 1..247
12 Скорость передачи данных RTU ModBus: 2400, 4800, 9600, 14400, 19200, 28800, 38400, 57600, 76800, 115200 бод.
13 Формат кадра RTU ModBus: 8-бит + 1 стоповый бит, 8-бит + 2 стоповых бита, 8 бит + 1 стоповый бит + 1 бит четности, 8 бит + 1 стоповый бит + 1 бит нечетности.
14 Блокировка: нормально замкнутый контакт или нормально разомкнутый контакт.
15 Состояние обмена данными по протоколу RTU ModBus: Offline - нет данных, BadLine - неправильный формат кадра или скорость передачи данных, LineOk - принят пакет данных, но его адрес соответствует адресу другого подчиненного устройства, ConnOk - принят и обработан пакет данных.
16 Состояние управления: Manual - ручное и удаленное управление, Remote - только удаленное управление, ручное управление заблокировано.

Осциллограммы выходного тока и напряжения

На рисунке представлена осцилограмма выходного тока (1) и напряжения (2) во время работы на магнетрон.

Импульсы имеют отрицательную полярность, поэтому их изображение перевернуто. Из осциллограмм видно, что при подаче напряжения на магнетрон величина выходного тока изменяется скачком от 0 до I1 (~4 А). Это вызвано тем, что в паузе между импульсами плазма не успевает рекомбинировать полностью. Далее, в течение импульса, рабочий ток растет и в конце импульса достигает величины Im (~12 А), после чего практически сразу уменьшается до нуля. Такой быстрый спад тока является отличительной особенностью источников питания серии APEL-M-5PDC, что позволяет значительно снизить вероятность дугообразования.

Подробное описание серии источников питания марки APEL-M-5PDC можно найти на странице Библиотека