Скачать документацию (1437 кб)
Оформить заказ
|
|
Обновленная серия источников питания APEL-M-5PDC предназначена для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока магнетронных распылительных систем мощностью до 5 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий.
Серия включает в себя источники питания с типовым выходным напряжением до 650 В и повышенным выходным напряжением до 1000 В. Низковольтный источник подходит Источники питания могут оборудоваться дополнительным выходом для поочередного подключения двух магнетронов. Это удобно, если Ваша установка оснащена несколькими магнетронами, но они всегда работают поочередно. Переключение выходов осуществляется с передней панели, или дистанционно.
| Технические характеристики |
| Параметры |
APEL-M-5PDC-650A-2 |
APEL-M-5PDC-1000A-2 |
Входное напряжение
|
380В, 50/60Гц |
380В, 50/60Гц |
| Максимальная выходная мощность |
5 кВт |
5 кВт |
Максимальная потребляемая мощность
|
5,6 кВт |
5,6 кВт |
| Диапазон регулирования выходного напряжения |
30÷650 В |
50÷1000 В |
| Щаг изменения выходного напряжения |
1 В |
1 В |
| Диапазон регулирования выходного среднего тока |
0,10÷16,00 А
|
0,10÷10,00 А |
| Шаг изменения выходного тока |
0,01 А |
0,01 А |
Диапазон регулирования выходной средней мощности
|
0,10÷5,00 кВт |
0,10÷5,00 кВт |
| Шаг изменения выходной мощности |
0,01 кВт |
0,01 кВт |
Амплитуда поджигающего импульса
|
1000 В |
1000 В |
| Тип выходного напряжения |
отрицательное постоянное или импульсное униполярное |
отрицательное постоянное или импульсное униполярное |
| Диапазон регулирования частоты импульса |
1÷100 кГц с шагом 1 кГц |
1÷100 кГц с шагом 1 кГц |
Диапазон регулирования коэффициента заполнения
|
10-80% |
10-80% |
Режимы стабилизации
|
напряжение, ток, мощность |
напряжение, ток, мощность |
| Точность стабилизации |
не хуже 3% |
не хуже 3% |
| Амплитуда тока срабатывания дугозащиты |
30 А |
15 А |
| Время реакции на дуговой прибой |
0,8 мкс |
0,8 мкс |
| Индикация |
ЖК-дисплей |
ЖК-дисплей |
Охлаждение
|
воздушное |
воздушное |
| Блокировочный вход |
есть |
есть |
| Дополнительный выход |
есть |
есть |
Масса
|
18 кг |
18 кг |
| Корпус |
3U, 19” |
3U, 19” |
| Интерфейс |
RS-485 |
RS-485 |
| Протокол управления |
RTU ModBus |
RTU ModBus |
| Скорость обмена данными по протоколу RTU ModBus |
2400...115200 Бод |
2400...115200 Бод |
| |
В состав комплекта входит:
- источник питания APEL-M-5PDC;
- кабель для подключения к питающей сети (пятижильный, 3 метра);
- кабель для подключения нагрузки (3 метра);
- паспорт и инструкция по эксплуатации.
Панель управления источника
СВЕТОДИОДНАЯ ИНДИКАЦИЯ
|
| ARC |
Индикатор срабатывания дугозащиты. Загорается, если разряд переходит в дуговую форму или ток превышает максимальное значение. |
| RAMP |
Индикатор соответствия значения уставки стаблизируемого параметра выходной величине. Если индикатор мигает, то несоответствие превышает 10%, что свидетельствует о неудачном режиме работы источника.
|
OVR
|
Индикатор превышения выходного напряжения.
|
ERR
|
Индикатор сбоя в работе/ошибки. Работа невозможна до устранения причины.
|
| REM |
Индикатор блокировки ручного управления.
|
| LINK |
Индикатор связи с компьютером
|
Жидкокристаллический информационный дисплей
| Технические характеристики |
| № |
Назначение параметра
|
1.1, 1.2, 1.3
|
Уставка напряжения, тока или мощности, в заивисимости от режима стабилизации.
|
2.1
|
Текущее значение выходного напряжения источника питания. В импульсном режиме работы соответствует амплитуде выходных импульсов. |
2.2
|
Текущее значение выходного тока источника питания. В импульсном режиме работы отображается величина среднего активного выходного тока. |
2.3
|
Текущее значение выходной мощности источника питания. В импульсном режиме работы отображается средняя активная выходная мощность.
|
| 3.1 |
Частота следования импульсов: 1...100 кГц, с шагом 1 кГц. |
| 3.2 |
Коэффициент заполнения импульсов: 10...80 %, с шагом 1. |
| 4 |
Таймер обратного отсчета.
|
5
|
Счетчик дуг. Обнуляется при нажатии на ручку.
|
10
|
Меню перехода на главный экран при нажатии ручки. |
| 6.1 |
Сетевой адрес при обмене данными по протоколу RTU ModBus: 1..247 |
| 6.2 |
Скорость передачи данных RTU ModBus: 2400, 4800, 9600, 14400, 19200, 28800, 38400, 57600, 76800, 115200 бод. |
| 6.3 |
Формат кадра RTU ModBus: 8-бит + 1 стоповый бит, 8-бит + 2 стоповых бита, 8 бит + 1 стоповый бит + 1 бит четности, 8 бит + 1 стоповый бит + 1 бит нечетности. |
| 6.4 |
Состояние обмена данными по протоколу RTU ModBus: Offline - нет данных, BadLine - неправильный формат кадра или скорость передачи данных, LineOk - принят пакет данных, но его адрес соответствует адресу другого подчиненного устройства, ConnOk - принят и обработан пакет данных. |
| 7 |
Блокировка: нормально замкнутый контакт или нормально разомкнутый контакт. |
| 8 |
Состояние управления: Manual - ручное и удаленное управление, Remote - только удаленное управление, ручное управление заблокировано. |
Осциллограммы выходного тока и напряжения
На рисунке представлена осцилограмма выходного тока (1) и напряжения (2) во время работы на магнетрон.
Импульсы имеют отрицательную полярность, поэтому их изображение перевернуто. Из осциллограмм видно, что при подаче напряжения на магнетрон величина выходного тока изменяется скачком от 0 до I1 (~4 А). Это вызвано тем, что в паузе между импульсами плазма не успевает рекомбинировать полностью. Далее, в течение импульса, рабочий ток растет и в конце импульса достигает величины Im (~12 А), после чего практически сразу уменьшается до нуля. Такой быстрый спад тока является отличительной особенностью источников питания серии APEL-M-5PDC, что позволяет значительно снизить вероятность дугообразования.
Подробное описание серии источников питания марки APEL-M-5PDC можно найти на странице Библиотека
|
