Главная   —   Каталог   —   Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M  —   Униполярный источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 12 кВт

Униполярный источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 12 кВт

Серия: APEL-M-12PDC

Униполярный источник питания для магнетронных распылительных систем мощностью 12 кВт

Скачать документацию (1040 кб)

Оформить заказ
 

Источник APEL-M-12PDC предназначен для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока магнетронных распылительных систем мощностью до 12 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий.

Технические характеристики
Параметр APEL-M-12PDC-650-2 APEL-M-12PDC-800-2 APEL-M-12PDC-1000-2
Входное напряжение 380В, 50/60Гц 380В, 50/60Гц 380В, 50/60Гц
Максимальная выходная мощность 12кВт 12кВт 12кВт
Максимальная потребляемая мощность 13 кВт 13 кВт 13 кВт
Диапазон регулирования выходного напряжения 65÷650 В 65÷800 В 65÷1000 В
Максимальный и минимальный шаг изменения выходного напряжения 1 В - 10 В  1 В - 10 В 1 В -10 В 
Диапазон регулирования выходного среднего тока 0,1-18,0 А 0,1-15,0 А 0,1-12,0 А
Максимальный и минимальный шаг изменения выходного тока 10 мА - 1 А 10 мА - 1 А 10 мА - 1 А
Диапазон регулирования выходной средней мощности 0,1-12 кВт 0,1-12 кВт 0,1-12 кВт
Максимальный и минимальный шаг изменения выходной мощности 1 Вт - 1 кВт 1 Вт - 1 кВт 1 Вт - 1 кВт
Амплитуда поджигающего импульса 1000 В 1000 В 1000 В
Тип выходного напряжения

отрицательное, постоянное, импульсное униполярное

отрицательное, постоянное, импульсное униполярное отрицательное, постоянное, импульсное униполярное
Диапазон регулирования частоты импульса  1-100 кГц с шагом 1 кГц 1-100 кГц с шагом 1 кГц 1-100 кГц с шагом 1 кГц
Диапазон регулирования коэффициента заполнения импульсов (возможна по желанию заказчика модификация с заданием времени паузы от 1 до 50 мкс) 10-80% 10-80% 10-80%
Режимы стабилизации напряжение, ток, мощность напряжение, ток, мощность напряжение, ток, мощность
Точность стабилизации не хуже 3% не хуже 3% не хуже 3%
Амплитуда тока срабатывания дугозащиты

 

  40 А

40 А   40 А  
Время реакции на дуговой прибой 0,8 мкс 0,8 мкс 0,8 мкс
Индикация ЖК-дисплей ЖК-дисплей ЖК-дисплей
Охлаждение воздушное воздушное воздушное
Блокировочный вход есть есть есть
Масса 35 кг 35 кг 35 кг
Корпус 4U, 19” 4U, 19” 4U, 19”
Интерфейс RS-485 RS-485 RS-485
 

В состав комплекта входит:

  • источник питания APEL-M-12PDC;
  • кабель для подключения к  питающей сети (четырехжильный, 3 метра);
  • кабель для подключения нагрузки (двухжильный, 3 метра);
  • техническое описание и инструкция по эксплуатации.

Панель управления источника

Назначение кнопок на панели управления
  Кнопки включения и выключения выходного напряжения:
ON При нажатии кнопки на выход источника подается напряжение
OFF При нажатии кнопки происходит снятие выходного напряжения
  Кнопки управления встроенным таймером:
TIMER START/STOP Кнопка запуска и остановки таймера
TIMER/RESET Кнопка сброса показания таймера
  Кнопки управления встроенным таймером:
F1 Кнопка включения/выключения поджигающего импульса (поджига). Возможно изменение под нагрузкой
F2

Не используется 

REGULATION Кнопка переключения режимов стабилизации (напряжение-ток-мощность).  Возможно изменение под нагрузкой
Примечание: срабатывание кнопки происходит при ее ОТПУСКАНИИ (нажатие сопровождается светодиодной индикациец и одкратным звуковым сигналом).
СВЕТОДИОДНАЯ ИНДИКАЦИЯ
ARS Индикатор срабатывания дугозащиты. загорается, если разряд переходит в дуговую форму или ток превышает максимальное значение.
RAMP Индикатор соответствия текущего значения напряжения заданному значению. Если индикатор мигает, то несоответствие превышает 10%, что свидетельствует о неудачном режиме работы источника.
  Индикаторы выбранного режима стабилизации:
 VOLTAGE  Напряжение
 CURRENT  Ток
 POWER  Мощность

Жидкокристаллический информационный дисплей

Технические характеристики
Символ Обозначение
Ur (Ir, Pr)=000V Установленное значение (уставка) стабилизируемого параметра. Изменяется при вращении энкодера. В зависимости от выбранного режима стабилизации на дисплее отражается уставка наппряжения (Ur), тока (Ir) или мощности (Pr)
Mode=LF (DC) Индикатор выбранного режима работы: импульсный низкочастотный (LF) или постоянный (DC). Если источник питания включен на нагрузку, то смена режима невозможна
F=00kHz Установка частоты повторения импульсов в импульсном режиме. Возможно изменение под нагрузкой. В DC режиме не отображается
T=00% Коэффициент заполнения импульсов. Возможно изменение под нагрузкой. В DC режиме не отображается
U=000V Текущее значение напряжения на выходе источника питания
I=0.00A Текущее значение тока источника питания. В импульсном режиме работы (LF) отображается средний ток источника
P=0.00kW Текущее значение мощности, потребляемой нагрузкой. В импульсном режиме работы (LF) отображается средняя мощность источника
00:00 (мин:сек) Таймер. Отображает время с момента нажатия кнопки TIMER START
Курсор
Указывает на параметр, который будет изменяться при вращении энкодера

Более подробное описание источника питания марки APEL-M-12PDC можно найти на странице Библиотека