Установки для нанесения покрытий на рулонные материалы

Установка предназначена, в частности, для нанесения низкоэмиссионных покрытий на рулонные полимерные пленки шириной до 1200 мм  с производительностью до 500 м² за смену.
В качестве барьерных слоев в структуре оксид – металл – оксид использованы слои легированного галлием оксида цинка, наносимого магнетронным распылением керамического ZnO:Ga₂O₃ катода в атмосфере аргона, что значительно повышает стойкость к атмосферным воздействиям покрытия в целом.

В состав установки входит вакуумная камера, внутри которой расположены три протяженные магнетронные распылительные системы и ионный источник с анодным слоем , а также лентопротяжный механизм для перемещения полимерной пленки. Откачка камеры обеспечивается двумя форвакуумными насосами НВР-90  и форвакуумным агрегатом АВД-150/63, и двумя высоковакуумными дифузионными паромасленными агрегатами АВДМ-400 (на рисунке не показаны). Двухканальная система газораспределения обеспечивает напуск рабочих газов в вакуумную камеру во время технологического процесса. Для охлаждения магнетронов, ионного источника и диффузионного насоса используется системы распределения воды. Измерение давления в вакуумной камере осуществляется манометрическим термопарным (ПМТ-4) и ионизационным (ПМИ-51) преобразователями. Управление технологической установкой осуществляется от персонального компьютера. В стойке расположены три источника питания магнетронных  распылительных систем  и ионного источника с анодным слоем. В шкафу управления  размещены распределительные части, контроллеры ввода-вывода, исполнительные механизмы вакуумного оборудования.

Вакуумная камера установки изготовлена из стали. Она является технологическим объемом, в котором происходит процесс нанесения покрытий на полимерную пленку и имеет форму цилиндра диаметром 1,08 м и длиной 2,2 м. Вакуумная камера устанавливается и закрепляется на раме. Камера имеет две двери, которые обеспечивают свободный доступ к обрабатываемой пленке, а также облегчает монтаж технологических источников. На дверях и стенках располагаются фланцы, предназначенные для установки технологических источников, вакуумного оборудования, системы перемотки полимерной пленки. Фланцы имеют стандартные размеры с внутренними диаметрами величиной от 40 мм до 400 мм.

Основные технические параметры установки приведены в таблице.