Cерия APEL-SB-BP принадлежит к новому поколению источников для подачи потенциала смещения на подложку, разработанных в ООО «Прикладная Электроника». В них реализован принцип питания магнетрона биполярным импульсным током. Высокая мощность источника питания достигается использованием модульной конструкции, где высокая выходная мощность достигается путем последовательного - параллельного соединения менее мощных источников питания. Таким образом, в зависимости от конфигурации, можно получить различные уровни напряжений и токов. Для объединения всех силовых блоков в единую централизованную систему используется блок управления. Он синхронизирует формирование выходных импульсов и выравнивает выходные параметры всех силовых блоков. Данные о состоянии каждого блока поступают в блок управления, который непрерывно следит за состоянием блоков.
На рисунке 1 представлена схема построения источника питания APEL-SB-60BP-330 с выходной мощностью до 60 кВт.
Рисунок 1. Состав источника питания APEL-M-60BP-660.
Входной шкаф имеет ввод для подключения к трехфазной сети переменного тока, автоматический выключатель, контактор и предназначен для распределения питающих напряжений в стойке.
Выходной шкаф выполняет функцию организации межблочного соединения выходов силовых блоков и блока инициации разряда, а также снабжен вводом для подключения кабеля к нагрузке.
Блок управления отвечает за организацию работы всего источника питания в целом. В его функции входит управление и мониторинг силовых блоков и блока инициации разряда, обработка управляющих команд оператора и вывод информации на дисплей, прием и обработка удаленных команд по интерфейсу ModBus.
На основе универсальных силовых блоков могут быть сконфигурированы источники питания для магнетронных распылительных систем следующих типов:
- APEL-SB-20BP - мощностью 20 кВт
- APEL-SB-30BP - мощностью 30 кВт
- APEL-SB-40BP - мощностью 40 кВт
- APEL-SB-50BP - мощностью 50 кВт
- APEL-SB-60BP - мощностью 60 кВт
- APEL-SB-70BP - мощностью 70 кВт
- APEL-SB-80BP - мощностью 80 кВт
- APEL-SB-90BP - мощностью 90 кВт
- APEL-SB-100BP- мощностью 100 кВт
В таблице приведены основные параметры источников питания низковольтного смещения, где все силовые блоки поключены параллельно.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ APEL-SB-BP |
| Параметры |
APEL-SB-20BP |
APEL-SB-30BP |
APEL-SB-40BP |
APEL-SB-50BP |
APEL-SB-60BP |
APEL-SB-70BP |
APEL-SB-80BP |
APEL-SB-90BP |
APEL-SB-100BP |
| Состав источника питания |
| Универсальный силовой блок APEL-U |
2 шт. |
3 шт. |
4 шт. |
5 шт. |
6 шт. |
7 шт. |
8 шт. |
9 шт. |
10 шт. |
| Блок управления |
1 шт. |
1 шт. |
1 шт. |
1 шт. |
1 шт. |
1 шт. |
1 шт. |
1 шт. |
1 шт. |
| Общий размер |
6U |
9U |
12U |
15U |
18U |
21U |
24U |
27U |
30U |
| Параметры сетевого питания |
| Входное напряжение |
380В, 50/60Гц |
| Максимальная потребляемая мощность |
21 кВт |
32 кВт |
44 кВт |
54 кВт |
65 кВт |
76 кВт |
87 кВт |
98 кВт |
109 кВт |
| Выходные характеристики |
| Выходная мощность |
0,2 - 20 кВт
|
0,3 - 30 кВт |
0,4 - 40 кВт |
0,5 - 50 кВт |
0,6 - 60 кВт |
0,7 - 70 кВт |
0,8 - 80 кВт |
0,9 - 90 кВт |
1,0 - 100 кВт |
| Выходное напряжение |
10÷330 В
|
|
|
|
| Средний выходной ток |
60А |
90А |
120А |
150А |
180А |
210А |
240А |
250А |
270А |
| Режимы работы |
постоянный ток (DC), импульсный биполярный (Pulse)
|
| Частота следования импульсов |
1 - 100 кГц,
|
| Длительность положительных импульсов |
3 - 50 мкс |
| Амплитуда положительных импульсов |
10 - 30% от выходного отрицательного напряжения |
Параметры системы дугоподавления
|
| Время реакции системы дугоподавления |
< 1 мкс
|
Длительность импульса дугоподавления (импульса положительной полярности)
|
3 - 50 мкс |
| Пауза после срабатывания дугоподавления |
1мс |
| Внешнее управление |
| Интерфейс передачи данных |
RS-485 или оптический |
| Протокол передачи данных |
RTU ModBus |
| Дискретные сигналы управления |
Включение
Выключение
Блокировка включения |
| Общие характеристики |
| Индикация |
ЖК-дисплей |
| Охлаждение |
воздушное |
|
Оформить заказ
