Многоячейковые ионные источники с замкнутым дрейфом электронов

Протяженные и круглые ионные источники с замкнутым дрейфом электронов, в частности, выпускаемые ООО "Прикладная Электроника" серии APEL-IS-L и APEL-IS-R формируют полые ионные пучки, либо круглые, либо вытянутые. Поэтому, для равномерной обработки подложек необходимо обеспечивать взаимное перемещение ионного источника и подложки. Иногда специально для этого приходится усложнять конструкцию вакуумной установки.

Для обработки небольших подложек и при невысоких требованиях к равномерности плотности ионного пучка, более эффективными могут оказаться многоячейковые ионные источники, формирующие несколько расходящихся полых ионных пучков, которые на некотором расстоянии от ионного источника в сумме дают сплошной ионный пучок.

Внешний вид многоячейковых ионных источников, формирующих 7 и 22 ионных пучка представлен на рис. 1.

Рисунок 1. Внешний вид многоячейковых ионых источников.

Так же как и щелевые ионные источники, источники серии APEL-IS-CELL могут работать с источниками питания APEL-IS-2000, или APEL-IS-3500. Вольтамперные характеристики иисточника APEL-IS-22CELL представлены на рис. 2.

Рисунок 2. ВАХ многоячейкового ионного источника APEL-IS-22CELL.

На рисунке 3 приведен результат обработки ионным пучком тонкой пленки нержавеющей стали, толщиной 20 нм, при напряжении 3,5 кВ и разрядном токе 90 мА. Расстояние от ионного источника до подложки составляло 200 мм, время травления 30 минут. Рабочий газ Ar, давление 1х10^-3 мм.рт.ст.

Рисунок 3. Образец травления металлической пленки.

Подробное описание многоячейковых ионных источников можно найти на странице "Библиотека"