Главная   —   Каталог   —   Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M  —   Униполярные источники питания для магнетронных распылительных систем мощностью 10 кВт

Униполярные источники питания для магнетронных распылительных систем мощностью 10 кВт

Серия: APEL-M-10PDC

Униполярные источники питания для магнетронных распылительных систем мощностью 10 кВт Оформить заказ
 

Источник APEL-M-10PDC предназначен для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока магнетронных распылительных систем мощностью до 10 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Параметр APEL-M-10PDC-650-2 APEL-M-10PDC-800-2 APEL-M-10PDC-1000-2
Входное напряжение 380В, 50/60Гц 380В, 50/60Гц 380В, 50/60Гц
Максимальная выходная мощность 10кВт 10кВт 10кВт
Максимальная потребляемая мощность 10.5 кВт 10.5 кВт 10.5 кВт
Диапазон регулирования выходного напряжения 65÷650 В 65÷800 В 65÷1000 В
Максимальный и минимальный шаг изменения выходного напряжения 1 В - 10 В  1 В - 10 В 1 В -10 В 
Диапазон регулирования выходного среднего тока 0,1-15,0 А 0,1-12,5 А 0,1-10,0 А
Максимальный и минимальный шаг изменения выходного тока 10 мА - 1 А 10 мА - 1 А 10 мА - 1 А
Диапазон регулирования выходной средней мощности 0,1-10 кВт 0,1-10 кВт 0,1-10 кВт
Максимальный и минимальный шаг изменения выходной мощности 1 Вт - 1 кВт 1 Вт - 1 кВт 1 Вт - 1 кВт
Амплитуда поджигающего импульса 1000 В 1000 В 1000 В
Тип выходного напряжения

отрицательное, постоянное, импульсное униполярное

отрицательное, постоянное, импульсное униполярное отрицательное, постоянное, импульсное униполярное
Диапазон регулирования частоты импульса  1-100 кГц с шагом 1 кГц 1-100 кГц с шагом 1 кГц 1-100 кГц с шагом 1 кГц
Диапазон регулирования коэффициента заполнения импульсов  10-80% или пауза 3 - 50 мкс 10-80% или пауза 3 - 50 мкс 10-80% или пауза 3 - 50 мкс
Режимы стабилизации напряжение, ток, мощность напряжение, ток, мощность напряжение, ток, мощность
Точность стабилизации не хуже 3% не хуже 3% не хуже 3%
Амплитуда тока срабатывания дугозащиты

 

  32 А

32 А   32 А  
Время реакции на дуговой прибой 0,8 мкс 0,8 мкс 0,8 мкс
Индикация ЖК-дисплей ЖК-дисплей ЖК-дисплей
Охлаждение воздушное воздушное воздушное
Блокировочный вход есть есть есть
Масса 30 кг 30 кг 30 кг
Корпус 3U, 19” 3U, 19” 3U, 19”
Интерфейс RS-485 RS-485 RS-485
 

В состав комплекта входит:

  • источник питания APEL-M-10PDC;
  • кабель для подключения к  питающей сети (3 метра);
  • кабель для подключения нагрузки (3 метра);
  • техническое описание и инструкция по эксплуатации.