О компании Сертификаты Награды Партнеры Реквизиты		Новости		Каталог Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M Источники электропитания для смещения подложки серии APEL-SB Источники электропитания для ионных источников серии APEL-IS Высоковольтные источники питания постоянного тока серии APEL-HV-DC Источники электропитания накала APEL-H Магнетронные распылительные системы Ионные источники с замкнутым дрейфом электронов Технологии нанесения тонкопленочных покрытий Вакуумные установки для нанесения тонкопленочных покрытий Источники питания для магнетронного распыления импульсами высокой мощности Форвакуумные плазменные источники электронов для модификации поверхности диэлектрических материалов и синтеза диэлектрических покрытий.		Библиотека Технические описания и инструкции по эксплуатации Наши диссертации Наши публикации		Вопрос-ответ		Номенклатура		Склад

Главная — Каталог — Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M — Униполярные источники питания для магнетронных распылительных систем мощностью 10 кВт

Униполярные источники питания для магнетронных распылительных систем мощностью 10 кВт

Серия: APEL-M-10PDC

Оформить заказ

Источник APEL-M-10PDC предназначен для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока магнетронных распылительных систем мощностью до 10 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Параметр	APEL-M-10PDC-650-2	APEL-M-10PDC-800-2	APEL-M-10PDC-1000-2
Входное напряжение	380В, 50/60Гц	380В, 50/60Гц	380В, 50/60Гц
Максимальная выходная мощность	10кВт	10кВт	10кВт
Максимальная потребляемая мощность	10.5 кВт	10.5 кВт	10.5 кВт
Диапазон регулирования выходного напряжения	65÷650 В	80÷800 В	100÷1000 В
Максимальный и минимальный шаг изменения выходного напряжения	1 В - 10 В	1 В - 10 В	1 В -10 В
Диапазон регулирования выходного среднего тока	0,1-15,0 А	0,1-12,5 А	0,1-10,0 А
Максимальный и минимальный шаг изменения выходного тока	10 мА - 1 А	10 мА - 1 А	10 мА - 1 А
Диапазон регулирования выходной средней мощности	0,1-10 кВт	0,1-10 кВт	0,1-10 кВт
Максимальный и минимальный шаг изменения выходной мощности	1 Вт - 1 кВт	1 Вт - 1 кВт	1 Вт - 1 кВт
Амплитуда поджигающего импульса	1000 В	1000 В	1000 В
Тип выходного напряжения	отрицательное, постоянное, импульсное униполярное	отрицательное, постоянное, импульсное униполярное	отрицательное, постоянное, импульсное униполярное
Диапазон регулирования частоты импульса	1-100 кГц с шагом 1 кГц	1-100 кГц с шагом 1 кГц	1-100 кГц с шагом 1 кГц
Диапазон регулирования коэффициента заполнения импульсов	10-80% или пауза 3 - 50 мкс	10-80% или пауза 3 - 50 мкс	10-80% или пауза 3 - 50 мкс
Режимы стабилизации	напряжение, ток, мощность	напряжение, ток, мощность	напряжение, ток, мощность
Точность стабилизации	не хуже 3%	не хуже 3%	не хуже 3%
Амплитуда тока срабатывания дугозащиты	32 А	32 А	30 А
Время реакции на дуговой прибой	0,8 мкс	0,8 мкс	0,8 мкс
Индикация	ЖК-дисплей	ЖК-дисплей	ЖК-дисплей
Охлаждение	воздушное	воздушное	воздушное
Блокировочный вход	есть	есть	есть
Масса	30 кг	30 кг	30 кг
Корпус	3U, 19”	3U, 19”	3U, 19”
Интерфейс	RS-485	RS-485	RS-485

В состав комплекта входит:

источник питания APEL-M-10PDC;
кабель для подключения к питающей сети (3 метра);
кабель для подключения нагрузки (3 метра);
техническое описание и инструкция по эксплуатации.