Главная — Каталог — Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M — Маломощные источники питания для магнетронных распылительных систем до 1.5кВт
Маломощные источники питания для магнетронных распылительных систем до 1.5кВт
Серия: APEL-M-1.5
Оформить заказ |
Источник APEL-M-1.5 предназначены для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока маломощных магнетронных распылительных систем мощностью до 1.5 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий. По форме выходных импульсов напряения источники серии классифицируются на два вида: APEL-M-1.5PDC - импульсный униполярный источник питания, формирующий среднечастотные импульсы отрицательной полярности. APEL-M-1.5BP - биполярный источник питания, формирующий ассиметричные среднечастотные импульсы напряжения. Обе модификации имеют возможность регулировки частоты и длительности выходных импульсов. Кроме того, обеспечивают режим постоянного выходного тока (DC). Данные модели являются маломощными модификациями источников APEL-M-5PDC и APEL-M-5BP. В отличии от своих более мощных собратьев, источники питания маломощной серии могут запитываться от однофазной сети, и обеспечивают более высокую точность регулировки и стабилизации выходных параметров (выходного среднего тока и мощности). Особенностью источников питания является наличие выводов для поочередного подключения двух магнетронов. Это удобно, если Ваша установка оснащена несколькими магнетронами, работающими поочередно. Переключение выходов осуществляется с передней панели, или дистанционно.
|