Главная   —   Каталог   —   Источники электропитания для магнетронных распылительных систем серии APEL-M  —   Маломощные источники питания для магнетронных распылительных систем до 1.5кВт

Маломощные источники питания для магнетронных распылительных систем до 1.5кВт

Серия: APEL-M-1.5

Маломощные источники питания для магнетронных распылительных систем до 1.5кВт Оформить заказ
 

Источник APEL-M-1.5 предназначены для электропитания регулируемым напряжением постоянного и импульсного тока маломощных магнетронных распылительных систем мощностью до 1.5 кВт, используемых в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий. 

По форме выходных импульсов напряения источники серии классифицируются на два вида:

APEL-M-1.5PDC -  импульсный  униполярный источник питания, формирующий среднечастотные импульсы отрицательной полярности. 

APEL-M-1.5BP - биполярный источник питания, формирующий ассиметричные среднечастотные импульсы напряжения.

Обе модификации имеют возможность регулировки частоты и длительности выходных импульсов. Кроме того, обеспечивают режим постоянного выходного тока (DC). 

Данные модели являются маломощными модификациями источников APEL-M-5PDC и APEL-M-5BP. В отличии от своих более мощных собратьев, источники питания маломощной серии могут запитываться от однофазной сети, и обеспечивают более высокую точность регулировки и стабилизации выходных параметров (выходного среднего тока и мощности).

Особенностью источников питания является наличие выводов для поочередного подключения двух магнетронов. Это удобно, если Ваша установка оснащена несколькими магнетронами, работающими  поочередно. Переключение выходов осуществляется с передней панели, или дистанционно.

 

ОБЩИЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Входное напряжение 220В, 50/60Гц
Максимальная выходная мощность 1.5 кВт
Максимальная потребляемая мощность 1.8 кВт
Амплитуда положительного тока  нет 1 А
Амплитуда поджигающего импульса 1000 В
Тип выходного напряжения отрицательное постоянное или отрицательное импульсное униполярное импульсное биполярное ассиметричное, постоянное отрицательное
Диапазон регулирования частоты импульса  1÷100 кГц, шаг 1 кГц
Диапазон регулирования скважности 10÷80% пауза 3÷50 мкс
Режимы стабилизации напряжение, ток, мощность
Точность стабилизации не хуже 3%
Амплитуда тока срабатывания дугозащиты 15 А
Время реакции на дуговой прибой 0,5 мкс
Индикация ЖК-дисплей
Охлаждение воздушное
Блокировочный вход есть
Масса 20 кг
Корпус 3U, 19”
Интерфейс и протокол упраления
RS-485, RTU ModBus

 

ИНДИВИДУАЛЬНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Модель Выходные параметры
Напряжение Средний ток Средняя мощность
APEL-M-1.5PDC-650-2 65÷650 В, шаг 1 В
50÷2300 мА, шаг 1 мА
50÷1500 Вт, шаг 1 Вт
APEL-M-1.5PDC-800-2 80÷800 В, шаг 1 В 50÷2000 мА, шаг 1 мА 50÷1500 Вт, шаг 1 Вт
APEL-M-1.5PDC-1000-2 100÷1000 В, шаг 1 В 30÷1500 мА, шаг 1 мА 50÷1500 Вт, шаг 1 Вт
APEL-M-1.5BP-650-2 65÷650 В, шаг 1 В 50÷2300 мА, шаг 1 мА 50÷1500 Вт, шаг 1 Вт
APEL-M-1.5BP-800-2 80÷800 В, шаг 1 В 50÷2000 мА, шаг 1 мА 50÷1500 Вт, шаг 1 Вт
APEL-M-1.5BP-1000-2 100÷1000 В, шаг 1 В 30÷1500 мА, шаг 1 мА 50÷1500 Вт, шаг 1 Вт