Магнетрон для распыления бора

Предлагается планарный магнетрон  с мишенью из чистого кристаллического  бора для нанесения покрытий как в непрерывном (DC), так и в  импульсно-периодическом сильноточном режиме  (HiPIMS).  Устройство имеет оригинальную конструкцию и позволяет наносить пленки бора, а также осуществлять синтез борсодержащих покрытий в среде реактивных газов. Электрическое питание магнетрона обеспечивается источниками постоянного тока серии APEL-M. Области возможных применений:  синтез функциональных и защитных борсодержащих покрытий, а также имплантация ионов бора для решения практических задач машиностроения и  электроники.