Главная — Каталог — Магнетронные распылительные системы — Магнетрон с инжекцией электронов
Оформление заказа
Магнетрон с инжекцией электронов
Серия: APEL-MRI
Планарный магнетрон с инжекцией электронов обеспечивает возможность работы в области предельно низких значений рабочего давления (менее 0.1Па, 0.75 мТорр), что приводит к увеличению скорости и эффективности процесса распыления.
* — обязательно для заполнения
