Разработан новый источник питания для магнетронных распылительных систем
23 июня 2011
Компания завершила разработку источников питания для магнетронных распылительных систем мощностью 5 и 10 кВт, имеющих существенно улучшенные эксплуатационные характеристики. Отличительными особенностями источников питания являются:
1. При работе источника в импульсном режиме, после окончания импульса отрицательной (рабочей) полярности, на выход источника прикладывается небольшое положительное напряжение, что радикально уменьшает дугообразование на катоде.
2. Введены новые методы регистрации дуг на катоде.
3. Форма импульса тока при работе в импульсном режиме приближена к прямоугольной.
Внешний вид источника питания мощностью 10 кВт
