Многоячейковые ионные источники APEL-IS-nCELL
10 января 2013
В дополнение к выпускающимся ООО "Прикладная Электроника" кргулым и протяженным ионным источникам с замкнутым дрейфом электронов, формирующим полый ионный пучок, нами разработаны многоячейковые ионные источники, формирующие сплошной ионый пучок с достаточно высокой однородностью плотности ионного тока. В настояшее время испытаны конструкции источников, состоящие из 7 и 21 ячейки, формирующие ионные пучки диаметром 160 и 250 мм, соответственно. Описания новых ионных источников приведенывы в разделе "Библиотека"
