Добавлено описание новых источников питания
16 марта 2013
В разделы "Источники питания для магнетронных распылительных систем" и "Источники для подачи смещения на подложку" добавлены описания мощных биполярных источников питания.
Источники питания имеют мощность от 10 до 80 кВт и формируют на магнетроне или подложке биполярные импульсы. Часть периода на катод подается положительный потенциал, снимающий заряд с поверхности. Истользование таких источников радикально повышает стабильность процессов распыления, в том числе реактивного.
