Скачать документацию (1112 кб)
Оформить заказ
|
|
Источник APEL-SB-1.5PDC предназначен для подачи электрического смещения на подложку в процессах магнетронного или дугового нанесения тонкопленочных покрытий.
Источник APEL-SB-5PDC предназначен для подачи постояного или импульсного электрического смещения на подложку в процессе нанесения покрытий магнетронным или электродуговым методом.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
| |
APEL-SB-1.5PDC-300-2 |
APEL-SB-1.5PDC-650-2 |
APEL-SB-1.5PDC-800-2 |
APEL-SB-1.5PDC-1000-2 |
APEL-SB-1.55PDC-1300 |
APEL-SB-1.5PDC-1500 |
APEL-SB-1.5PDC-2000 |
APEL-SB-1.5PDC-3000 |
| Входное напряжение |
3x380В, 50/60Гц |
| Максимальная выходная мощность |
1.5 кВт
|
| Максимальная потребляемая мощность |
1,8 кВт |
| Диапазон регулирования выходного напряжения |
10÷300 В |
65÷650 В |
65÷800 В |
65÷1000 В |
65÷1300 В |
65÷1500 В |
100÷2000 В |
100÷1500 В |
| Шаг изменения выходного напряжения |
1 - 10 В |
| Диапазон регулирования выходного среднего отрицательного тока |
0,01 - 5,00 А |
0,01 - 2,30 А |
0,01 - 2,00 А |
0,01 - 1,50 А |
0,01 - 1,20 А |
10 - 1000 мА |
10 - 750 мА |
10 - 500 мА |
| Шаг изменения выходного тока |
от 0,01 до 1 А |
| Диапазон регулирования выходной средней мощности |
0,01 - 1,50 кВт |
| Шаг изменения выходной мощности |
от 1 Вт до 100 Вт |
| Тип выходного напряжения |
Импульсное униполярное, постоянное отрицательное
|
| Диапазон регулирования частоты импульса |
1-100 кГц, шаг 1 кГц
|
| Диапазон регулирования коэффициента заполнения импульса в периоде |
10 - 80% |
| Режимы стабилизации |
напряжение, ток, мощность |
| Точность стабилизации |
не хуже 3% |
|
Амплитуда тока срабатывания дугозащиты
(возможно уменьшение по желанию заказчика)
|
20 А
|
20 А |
20 А |
20 А |
20 А |
20 А |
20 А |
20 А |
| Время реакции на дуговой прибой |
0,5 мкс |
| Индикация |
ЖК-дисплей |
| Охлаждение |
воздушное |
| Блокировочный вход |
есть |
| Масса |
20 кг |
| Корпус |
3U, 19” |
| Интерфейс |
RS-485 |
| |
В состав комплекта входит:
- источник питания APEL-SB-1.5PDC;
- кабель для подключения к питающей сети (четырехжильный, 3 метра);
- кабель для подключения нагрузки (двухжильный, 3 метра);
- техническое описание и инструкция по эксплуатации.
Осциллограммы выходного тока и напряжения
На рисунке представлена осцилограмма выходного тока (1) и напряжения (2) во время работы на магнетрон.
Импульсы имеют отрицательную полярность, поэтому их изображение перевернуто. Из осциллограмм видно, что при подаче напряжения на магнетрон величина выходного тока изменяется скачком от 0 до I1 (~1 А). Это вызвано тем, что в паузе между импульсами плазма не успевает рекомбинировать полностью. Далее, в течение импульса, рабочий ток растет и в конце импульса достигает величины Im (~3 А), после чего практически сразу уменьшается до нуля. Такой быстрый спад тока является отличительной особенностью источников питания серии APEL-M-1,5PDC, что позволяет значительно снизить вероятность дугообразования.
Жидкокристаллический информационный дисплей
| Технические характеристики |
| № |
Назначение параметра
|
| 1 |
Уставка напряжения, тока или мощности, в заивисимости от режима стабилизации.
|
| 2 |
Режим работы: импульсный или постоянный ток.
|
| 3 |
Частота следования импульсов: 1...100 кГц, с шагом 1 кГц.
|
| 4 |
Коэффициент заполнения импульсов: 10...80 %, с шагом 1.
|
| 5 |
Меню перехода на экран дополнительных настроек при нажатии ручки.
|
| 6 |
Текущее значение выходного напряжения источника питания. В импульсном режиме работы соответствует амплитуде выходных импульсов. |
| 7 |
Текущее значение выходного тока источника питания. В импульсном режиме работы отображается величина среднего выходного тока. |
| 8 |
Текущее значение выходной мощности источника питания. В импульсном режиме работы отображается средняя выходная мощность.
|
| 9 |
Таймер обратного отсчета.
|
10
|
Меню перехода на главный экран при нажатии ручки. |
| 11 |
Сетевой адрес при обмене данными по протоколу RTU ModBus: 1..247 |
| 12 |
Скорость передачи данных RTU ModBus: 2400, 4800, 9600, 14400, 19200, 28800, 38400, 57600, 76800, 115200 бод. |
| 13 |
Формат кадра RTU ModBus: 8-бит + 1 стоповый бит, 8-бит + 2 стоповых бита, 8 бит + 1 стоповый бит + 1 бит четности, 8 бит + 1 стоповый бит + 1 бит нечетности. |
| 14 |
Блокировка: нормально замкнутый контакт или нормально разомкнутый контакт. |
| 15 |
Состояние обмена данными по протоколу RTU ModBus: Offline - нет данных, BadLine - неправильный формат кадра или скорость передачи данных, LineOk - принят пакет данных, но его адрес соответствует адресу другого подчиненного устройства, ConnOk - принят и обработан пакет данных. |
| 16 |
Состояние управления: Manual - ручное и удаленное управление, Remote - только удаленное управление, ручное управление заблокировано. |
|
