Источник APEL-SB-650-12 предназначен для подачи электрического смещения на подложку в процессах магнетронного или дугового нанесения тонкопленочных покрытий.
Источник APEL-SB-12PDC предназначен для подачи постояного или импульсного электрического смещения на подложку в процессе нанесения покрытий магнетронным или электродуговым методом.
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
| |
APEL-SB-12PDC-330-2 |
APEL-SB-12PDC-650-2 |
APEL-SB-12PDC-800-2 |
APEL-SB-12PDC-1000 |
APEL-SB-12PDC-1300 |
APEL-SB-12PDC-1500 |
APEL-SB-12PDC-2000 |
| Входное напряжение |
3x380В, 50/60Гц |
| Максимальная выходная мощность |
12 кВт
|
| Максимальная потребляемая мощность |
13 кВт |
| Диапазон регулирования выходного напряжения |
65÷330 В |
65÷650 В |
65÷800 В |
65÷1000 В |
65÷1300 В |
65÷1500 В |
100÷2000 В |
| Шаг изменения выходного напряжения |
1 - 10 В |
| Диапазон регулирования выходного среднего отрицательного тока |
1,0 - 36,0 А |
1 - 18,0 А |
1 - 15,0 А |
1 - 12,0 А |
0,1 - 9,3 А |
0,1 - 8,0 А |
0,1 - 6,0 А |
| Шаг изменения выходного тока |
от 0,01 до 1 А |
| Диапазон регулирования выходной средней мощности |
0,1- 12 кВт |
| Шаг изменения выходной мощности |
от 1 Вт до 100 Вт |
| Тип выходного напряжения |
Импульсное униполярное, постоянное отрицательное
|
| Диапазон регулирования частоты импульса |
1-100 кГц, шаг 1 кГц
|
| Диапазон регулирования коэффициента заполнения импульса в периоде |
10 - 80% |
| Режимы стабилизации |
напряжение, ток, мощность |
| Точность стабилизации |
не хуже 3% |
| Амплитуда тока срабатывания дугозащиты |
50 А
|
40 |
40 |
40 |
20 |
20 |
20 |
| Время реакции на дуговой прибой |
0,5 мкс |
| Индикация |
ЖК-дисплей |
| Охлаждение |
воздушное |
| Блокировочный вход |
есть |
| Масса |
35 кг |
| Корпус |
4U, 19” |
| Интерфейс |
RS-485 |
| |
В состав комплекта входит:
- источник питания APEL-SB-12PDC;
- кабель для подключения к трехфазной питающей сети (3 метра);
- кабель для подключения нагрузки ( 3 метра);
- техническое описание и инструкция по эксплуатации.
