Вопрос-ответ

11.06.2013 16:42, Александр

Нам нужен ионный источник(круглый) с энергией ионов 100-1000 эв с точностью +-5% от установленного значения, например от 152 до 168 эв, ионный ток до 100 ма, проекция пятна на подложку 50-100 мм. Цена? Спасибо. НИИ точного машиностроения, Москва, Зеленоград..

15.06.2013 12:14, Николай Сочугов

Здравствуйте, Александр, Спасибо за вопрос. Ионные источники с замкнутым дрейфом электронов, которые мы производим, по принципу действия имеют широкий разброс ионов по энергиям, поэтому они вряд ли могут применяться том, где нужна высокая точность энергии и узкое распределение ионов по энергиям. Полагаю, что Вам необходим ионный источник другого типа, торцевой Холловский, например. С уважением, Николай Сочугов ООО «Прикладная Электроника»

05.06.2013 20:00, Вадим

нам необходим источник ионов: круглый, создающий коллимированный поток ионов диаметром не менее 100 мм., расстояние от фланца до подложки 100-200 мм.,ионный ток до 300 мА., энергия ионов - 50-1500 эВ Какое рабочее давление необходимо? какой блок питания необходим для него? сколько будет стоить комплект? сроки изготовления?

15.06.2013 13:10, Николай Сочугов

Здравствуйте, Вадим, Не уверен, что это в точности, то, что Вам нужно, но можем предложить многоячейковый ионный источник APEL-S-22Cell (http://apelvac.com/catalog/59/index.html), формирующий относительно равномерный по плотности ионный пучок диаметром 160- 200 мм. При ускоряющем напряжении около 3 кВ, ионный ток будет около 300 мА, при энергии ионов около 1500 эВ. С уменьшением ускоряющего напряжения ионный ток будет пропорционально снижаться, т.к. в источнике нет компенсатора. А энергия ионов составляет примерно половину от величины ускоряющего напряжения. Описание этого ионного источника можно найти на странице http://apelvac.com/f/37/92/Manual%20APEL-IS-21CELL.pdf . Источник работает при давлениях 5*10-4 Торр – 1*10-3 Торр. Стоимость источника 72000 руб. Подходящий для него блок питания APEL-IS-3500 (http://apelvac.com/catalog/20/index.html) стоит 121000 руб. В связи с грядущим отпуском сотрудников, срок поставки – середина, или конец августа. С уважением, Николай Сочугов, ООО «Прикладная Электроника»

05.06.2013 13:58, Андрей Викторович

Здравствуйте. Нам необходим круглый ионный источник с фланцевым исполнением адаптированный под установку ННВ6.6. Вы поставляете только сам ионный источник, или он идет в комплекте с блоком питания? Также интересуют цена и сроки исполнения

15.06.2013 12:41, Николай Сочугов

Здравствуйте, Андрей Викторович, Спасибо за вопрос. Мы тоже пользуемся вакуумными камерами от установок ННВ6.6, поэтому есть ионные источники для установки на фланец ННВ6.6. Это может быть многоячейковый ионный источник APEL-IS-22Cell (http://apelvac.com/catalog/59/index.html), формирующий сплошной ионный пучок, или щелевой ионный источник APEL-IS-R200 (http://apelvac.com/catalog/40/index.html) с диаметром щели 200 мм. Из нашего опыта предложил бы многоячейковый ионный источник. Когда обрабатываемая подложка движется относительно ионного источника, т.е. установлена на вращающемся столе ННВ, то разницы большой нет: вся площадь подложки проходит через узкий ионный пучок. Но иногда удобнее обрабатывать неподвижную подложку. Тогда и проявляется достоинство многоячейкового источника, т.к. он формирует сплошной ионный поток, хотя и неравномерный по плотности. Стоимость этих ионных источников одинакова – 72 тыс. руб. В качестве источников питания для них рекомендую источник APEL-IS-3500 (http://apelvac.com/catalog/20/index.html) стоимостью 121 тыс. руб. Срок изготовления, в связи с приближающимися отпусками – середина, или конец августа. С уважением, Николай Сочугов, ООО «Прикладная Электроника»

04.06.2013 16:42, Анатолий

Сколько стоит VNUK - 5 в самой простой комплектации

15.06.2013 12:45, Николай Сочугов

Здравствуйте, Анатолий, Установка ВНУК-5 в максимально упрощенной комплектации и с производительностью около 100 м.кв. в смену будет стоить 6,5 млн. руб. С уважением, Николай Сочугов, ООО «Прикладная Электроника»

04.04.2013 19:37, Гаяр Ахметович

Николай Семенович, что бы Вы порекомендовали по ионной очистке изделий из полипропилена перед покраской. Существует ли отработанная технология.

08.04.2013 18:48, Николай Сочугов

Здравствуйте, Гаяр Ахметович, Полагаю, что ионная очистка полипропилена в вакууме для целей покраски будет неоправданно дорогим удовольствием. Вакуумная ионная очистка целесообразна (зачастую и необходима), если следом идет нанесение покрытия, металлизация, например. Насколько я знаю, очистка (вернее модификация поверхности) полимеров под покраску может осуществляться в коронном разряде при атмосферном давлении.

01.04.2013 17:13, Иван

Добрый день!!! Заинтересовали ваши предложения по круглым магнетронам, но есть пару вопросов: 1) возможно ли сделать круглые магнетроны с диаметром катода менее 50 мм? 2) был ли у вас опыт установки круглых магнетронов в установку ВУП-4? 3) есть ли у вас мультикатодные магнетронные распылительные устройства (2 и более катодов)?

08.04.2013 18:43, Николай Сочугов

Здравствуйте, Иван, 1) Большого опыта в разработке магнетронов с диаметром менее 75 мм у нас нет. Из любопытства делали магнетрон 50 мм, не более того. 2) Возможно и был. Мы не всегда знаем, в какую установку ставится наш магнетрон. Мы получаем входные требования (размеры фланца, принцип крепления внутри камеры и т.д.). А как называется установка обычно остаемся в неведении. 3) Мультикатодные магнетроны (в смысле магнетроны с переключаемыми катодами) тоже пробовали, но особых достоинств в них не увидели. Возможно, не сталкивались с задачами, где такой магнетрон будет иметь преимущества перед несколькими "однокатодными".

14.03.2013 15:00, Юрий

Здравствуйте Николай Семенович! У нас две установки: ННВ6,6 и ИЭТ-8. Хотели бы оснастить их ионными источниками очистки. Были ли у Вас подобные предложения и что вы можете нам предложить?

29.03.2013 21:40, Николай Сочугов

Здравствуйте, Юрий, прошу прощения, не сразу увидел Ваше письмо. Установку ННВ6,6 знаю. Для нее можем предложить многоячейковый ионный источник, размещаемый на фланце вместо одного из дуговиков. Аналогичный источнику APEL-IS-21CELL, описание которого Вы можете найти на сайте в разделе "Ионные источники". Установка ИЭТ-8 мне не знакома, поэтому прежде чем что-то рекомендовать, прошу рассказать о её конструкции.

11.03.2013 13:34, Юрий

Уважаемый Николай Семенович, Пишет вам студент ТУСУРа. Нам необходимо приобрести высокочастотный источник питания для распылительной системы и выбор наш пал на прибор APEL-M-3PDC, предлагаемый вашей компанией. Сообщите пожалуйста его стоимость и сроки поставки.

11.03.2013 18:51, N. Sochugov

Здравствуйте, Юрий Истинно высокочастотный источник работает на частоте 13,47 МГц, поэтому магнетроном можно распылять чисто диэлектрическую мишень. Источники APEL-M не являются в чистом виде высокочастотными. У них максимальная частота 100 кГц. Так что если Вам нужно распылять диэлектрики, то наши источники однозначно не подойдут. А если распыляемые мишени проводящие, то подойдут. А какой именно подойдет лучше, я смогу сказать, если Вы уточните, что собираетесь распылять и что осаждать.