Вопрос-ответ

02.11.2015 16:31, Владимир

Хотелось бы узнать Ваше мнение о так называемом высокоскоростном магнетронном напылении – со скоростью напыления до 150 мкм/час (http://www.nacotechnologies.com/rus/technology/hsipms/, http://npatom.ru/products/technologies/vacuum-methods/). Похоже, этот вариант не имеет широкого распространения сегодня. В чём там суть? Каковы, на Ваш взгляд, там ограничения и трудности?

04.11.2015 13:18, Павлов Артем Павлович

Владимир, ссылки конечно интересные, однако указание скорости напыления без указания напыляемого материала выглядит некорректным в виду того, что у разных материалов разная скорость напыления. Многое зависит от способа размещения подложки, т.к. часть материала все равно не попадает на подложку. Мы занимаемся обычным магнетронным напылением, а также сильноточным магнетронным напылением. При переходе к сильноточному магнетронному распылению на обычном магнетроне скорость падает, т.к. аргон лучше распыляет мишень чем атомы материала мишени. Зарубежные коллеги вроде как решили эту проблему путем изменения конфигурации магнитного поля, но мы таких экспериментов еще не проводили, да и технология сильноточного магнетронного напыления имеет специфичный круг применений. Если увеличивать давление воды и скорость ее протока через магнетрон, можно увеличить мощность магнетрона, и повысить скорость напыления. Однако не стоит забывать о том, что подложка при магнетронном напылении тоже греется, и она она может перегреться и расплавиться. Более того, не все подложки можно перегревать, т.к. они могут поменять свои физико-механические свойства, что не всегда допустимо. Большое давление воды в магнетроне плохо на него сказывается. Увеличивается вероятность протечек. Тонкие мишени гнет давлением и а прорыв воды при выработке мишени произойдет значительно раньше.

30.10.2015 14:34, Владимир

Здравствуйте. Нас интересует возможность напыления хрома на металлический стержень диаметром 10 – 20 мм и длиной 6 – 7 метров. Возможно ли изготовление протяженного магнетрона с вращающимся цилиндрическим катодом из хрома такой длины?

04.11.2015 13:02, Павлов Артем Павлович

Владимир, здравствуйте. Изготовить такой магнетрон конечно можно, но есть определенные ограничения. Т.к. длина большая, то необходимо знать диаметр магнетрона и способ его установки (вертикальный/горизонтальный). С другой стороны хром является пористым материалом, поэтому ему необходима труба-основание, которая исключит протечки. Замена мишеней на 8-метровом магнетроне - долгий и утомительный процесс, т.к. скорее всего придется устанавливать на трубу-основание ряд подогнанных и проточенных трубчатых мишеней из хрома.

27.10.2015 18:53, Олег Артемович Молоканов

Здравствуйте! Как можно получить техническое описание APEL-M-1.5BP - биполярный источник питания. На странице http://apelvac.com/library/Manuals/ подобное описание отсутствует. Благодарю

29.10.2015 16:15, Павлов Артем Павлович

Олег Артемович, здравсвуйте. Руководства добавлены.

25.10.2015 18:48, Котельников Владислав

Какие источники питания вы поставляете для питания электромагнитной катушки несбалансированных магнетронов.Марка, цена, тех характеристики. Это отдельный ИП или он входит в состав ИП для магнетрона.

29.10.2015 15:45, Павлов Артем Павлович

Владислав, добрый день. Для питания катушки источник мы не поставляем в виду его малой мощности. Для питания катушки подойдет лабороторный блок питания или ЛАТР с выпрямителем.

16.07.2015 16:30, Николай Сергеевич

Добрый день. Нам необходим высоковольтный импульсный источник питания для магнетрона с параметрами: мощность - 1500 вт, входное переменное напряжение - 220 В, выходное постоянное - + 4000 В, выполненный на современной эл.базе, обладающий максимально малыми габаритами и весом, с высокой надёжностью продолжительной работы (минимум 12 часов). С уважением Николай Сергеевич.

30.07.2015 15:48, Павлов Артем

Николай Сергеевич, здравствуйте. Мы, к сожалению, не занимаемся СВЧ магнетронами.

19.03.2015 13:56, Андрей

Здравствуйте. Требуется источник 5кВт , 2 кВ для камеры ионного азотирования. Хотелось бы, чтобы кроме постоянного напряжения был также импульсный выход. Что можете порекомендовать из линейки Вашего оборудования? Спасибо.

26.03.2015 23:05, Павлов Артем

Здравствуйте, Андрей. Лучше всего Вам подойдет источник питания APEL-SB-5PDC-2000-1.

21.01.2015 16:31, Владимир

Здравствуйте, Артем Павлович, может ли биполярный источник пит. смещения выдавать постоянный ток или только переменный???

24.01.2015 22:57, Павлов Артем

Владимир, здравсвуйте. Да, может выдавать постоянный ток. Биполярный он по причине того, что может формировать импульсы положительной полярности. При работе на постоянном токе это свойство используется только во время дугогашения. В импульсном режиме периодическое приложение положительной полярности позволяет снять заряды с диэлектрических пленок и предотвратить дугообразование.

12.08.2014 12:01, Александр

Имеются ли в наличии и возможно ли изготовление под заказ компактных источников питания для ионизаторов воздуха, установок для генерации ионного ветра. Напряжение 3,5, 5 или 8кВ. и максимальным током 5мА, c защитой от перегрузок. Если под заказ то интересуют сроки.

12.08.2014 21:22, Артем Павлов

Александр, к сожалению на такую малую мощность не делаем. Будет слишком дорого и громоздко в нашем исполнении.

03.07.2014 15:40, Игорь

добрый день.есть ли в блоке питания ионного источника APEL-IS-5000 режим стабилизации можности?(т.е. 0,4А-это максимальный ток,или при низких значениях ускоряющего можно получить больший ток?)

03.07.2014 23:43, Артем Павлов

Игорь, в источнике APEL-IS-5000 нет режима стабилизации мощности. 0,4 А - это максимальный ток даже в случае глухого КЗ.

01.07.2014 19:38, Игорь

добрый день.каковы габариты блока APEL-M-10BP?

01.07.2014 22:07, Артем Павлов

Игорь, изначально этот блок был высотой 6U. На данный момент поставляется в корпусе 4U. Через 2-3 месяца будет 3U. Блок вмещается в телекоммуникационную стойку/шкаф глубиной 800 мм. В 600 мм стойку не влезет. Глубина блока без разъемов на задней панели 600 мм (от передней панели до задней). На разъемы с кабелем уходит еще 100..150мм.