Главная   —   Вопрос-ответ

Вопрос-ответ

На вопросы отвечают:

Павлов Артем Павлович

Павлов Артем Павлович

Директор компании

Оскирко Владимир Олегович

Оскирко Владимир Олегович

Технический директор компании

Смотреть ранее заданные вопросы

Все поля обязательны для заполнения

Имя

E-mail

Ваш вопрос
 
 

Код с картинки
Сменить картинку

 
 
 
 

19.01.2017 17:10, Павел

Здравствуйте, интересует цена источника питания дуальных магнетронов,общая мощность 12кВт (600В) Наносить необходимо пленки оксида металлов на PET подложку. По возможности хотелось бы рассмотреть варианты с асимметричными и сим. импульсами.

 
 
 
 
 

25.01.2017 12:42, Павлов Артем Павлович

Павел, добрый день. Симметричный блок будет стоить 333 тыс., а асимметричный 420 тыс.

 
 
 
 

28.11.2016 15:36, Никита

Здравствуйте. скажите в модели apel-m-5pdc кроме назначения адреса есть установки скорости обмена данных?

 
 
 
 
 

29.11.2016 15:47, Павлов Артем Павлович

Никита, добрый день. В совсем старых моделях, выпущенных до конца 2013 года была одна фиксированная скорость 19200 или 115200, в зависимости от пожеланий. Более поздние модели имели другую прошивку, и там скорость и формат кадра настраивались таким же образом, как и в современных моделях.

 
 
 
 

19.10.2016 13:29, Алексей

Добрый день, какой источник питания лучше использовать для магнетронного распыление резистивного сплава "Кермет" К-50С (РС-4800/С44-1)?

 
 
 
 
 

21.10.2016 12:44, Павлов Артем Павлович

Алексей, для распыления резистивных сплавов у нас обычно приобретают блоки с выходным напряжением до 1000 В, т.к. напряжение горения разряда высокое. Т.к. в мишени присутствуют диэлектрические примеси, то лучше распылять ее биполярным источником питания. Однако тут нет гарантии что диэлектрик будет полностью распыляться, возможно часть его будет выпадать в виде пыли.

 
 
 
 

26.09.2016 14:50, Сергей

Здравствуйте! В документации на блоки, в частности на APEL-M-10PDC-1000-3, не указаны габаритные размеры блока. Это на мой взгляд - упущение. Интересует глубина блока, от этого зависит какую стойку применить в проекте.

 
 
 
 
 

26.09.2016 16:19, Павлов Артем Павлович

Сергей, добрый день. Чертежи есть, но отдельно от руководств пока. Вышлю Вам на почту.

 
 
 
 

20.09.2016 15:17, Николай

Здравствуйте. У меня вопрос по блоку APEL-M-5DC-1000-2. Там есть два режима работы - постоянный ток или импульсный режим. В чём отличия между этими режимами и в каком из них лучше производить напыление?

 
 
 
 
 

20.09.2016 17:29, Павлов Артем

Николай, добрый день. На постоянном токе пылится все, что может пылится. Обычно этот режим имеет самую большую скорость напыления. Импульсный режим обычно имеет меньшую скорость напыления, но позволяет предотвратить дугообразование и повысить степень ионного воздействия на подложку. Плазма в паузах между импульсами снимает заряд с диэлектрических островков на поверхности мишени, которые являются источником дуг. Островки эти являются оксидными/нитридными и др. пленками, каплями масла, и пр. Если говорить о скорости, то алюминий в отравленном состоянии на постоянном токе очень сложно оттренеровать. В импульсном режиме гораздо проще.

 
 
 
 
 

20.09.2016 16:43, Павлов Артем

Николай, добрый день. На постоянном токе пылят все что можно пылить, обычно металлы. Но, например, алюминий довольно проблематично пылить на постоянном токе, когда камера только откачалась и мишень отравлена, или старые насосы дают не чистый вакуум, а с парами масла. В таком случае неизбежно дугообразование. В импульсном режиме разряд горит не постоянно. В паузах между импульсами происходит компенсация зарядов на диэлектрических отровках поверхности мишени, что приводит к предотвращению дугообразования. Постепенно диэлектрические островки распыляются и мишень оттренировывается. Также в импульсном режиме повышается концентрация плазмы, и можно увеличить степень ионного воздействия на подложку.

 
 
 
 

26.08.2016 19:51, Игорь Тысячник

Здравствуйте! Цены, указанные в прайсе, актуальны сегодня?

 
 
 
 
 

03.09.2016 20:50, Павлов Артем Павлович

Игорь, цены пока актуальны, но возможно повышение до нового года на 5-10 %.

 
 
 
 

24.08.2016 13:56, Раиль

Производите ли Вы ВЧ генераторы+согласующее устройство для магнетронов мощностью 1 кВт

 
 
 
 
 

03.09.2016 20:49, Павлов Артем Павлович

Раиль, пока не производим, но планируем этим делом заняться.

 
 
 
 

04.07.2016 08:34, Александр

Здравствуйте. Планируем в обозримом будущем собирать pvd вакуумную установку для распыления преимущественно маслопроводящих мишеней(например графит). Судя по документации ваших магнетронов, вы используете неодимовые магниты, рабочая температура которых колеблется от 80 до 220( ну или около того). Интересует вопрос эффективности охлаждения, т.е. как можно оценить(в зависимости от материала мишени) тепловыделение на мишень и магнетрон при достаточно длительно эксперименте (приблизительно 1 час), чтобы не испортить магнетрон?

 
 
 
 
 

05.07.2016 16:41, Павлов Артем

Александр, способов испортить магнетрон существует множество. Самый простой - применить вместо воды какую-нибудь охлаждающую жидкость на основе этиленгликоля и антикоррозионных присадок. Что касается перегрева, то здесь применительно к нашим небольшим круглым магнетронам возможны два случая. Первый случай касается мишеней с прямым охлаждением. В таких максимальная тепловая мощность определяется как 100 Вт/см трека распыления. В реальности до 3 кВт на 100 мм магнетроне. Если мишень с косвенным охлаждением, к которым относится графит из-за его пористости, то все упирается в тепловое сопротивление самого графита, а также термостойкость резинок. Дело в том, что при перегреве мишени ее начинает пучить, и она примыкает к магнетрону только краями. На краю находится резинка. Если она обычная, то уже на 80-100 градусах она поплывет и магнетрон даст течь. Магниты отпуститься не успеют. Если резинка силиконовая, то температура поднимется выше, однако не заметить, что вода в магнетроне уже кипит мягко говоря очень сложно. Дело в том, что максимальная температура жидкости на выходе магнетрона не должна превышать 50-60 градусов.

 
 
 
 

03.06.2016 16:51, АЛЕКСАНДР

По информации вашего сайта имеется в наличии источник питания APEL-M-5PDC-650-2, насколько достоверна эта информация и можете ли вы выставить счет и договор на поставку в Воронеж

 
 
 
 
 

05.06.2016 19:47, Павлов Артем Павлович

Александр, добрый день. Блоки действительно в наличии.

 
 
 
 

10.05.2016 15:28, Татьяна

Добрый день, меня интересуют мишени для магнетронного распыления. Есть ли у вам возможность изготовить мишени диаметром 60 мм и высотой 5 мм из следующих материалов, и выслать коммерческое предложение на их изготовление: Al (99,99 %), Cr (99,95 %), Mo (99,95 %), Y (99,99 %), Mg (99,99 %), Fe (99,9 %).

 
 
 
 
 

11.05.2016 10:31, Павлов Артем Павлович

Татьяна, добрый день. Мы, к сожалению, не занимаемся изготовлением мишеней. Только в перспективе.

 
 

1 2 3 4 5 6 7