Вопрос-ответ

04.10.2017 13:08, Сергей Семенов, НГУ

Здравствуйте, какой формы выходной сигнал импульсного режима у APEL-M-5PDC-650-1, (особы интерес вызывает режим активного дугогашения),

16.10.2017 17:03, Павлов Артем Павлович

Сергей, форма в идеале - прямоугольная. Но наличие индуктивности затягивает рост напряжения и тока. При дугообразовании идет вылет тока, а напряжение падает до напряжения горения дуги, потом блок отключается. В зависимости от типа установленного формирователя ток или самостоятельно спадает в нагрузке через обратный диод, или рекуперируется в источник. Потом идет пауза 1 мс, нагрузка отключена.

30.06.2017 04:17, Sergey

Добрый день! В чем принципиальные преимущества использования ВЧ питания по отношению к импульсному?

30.06.2017 17:21, Павлов Артем Павлович

Сергей, добрый день. ВЧ и импульсное отличаются по частоте как минимум на порядок. Корректней сказать импульсное среднечастотное питание. При ВЧ питании возможно горение разряда за счет токов смещения, т.е. емкостных токов . Это делает возможным распыление диэлектрических мишеней магнетронной распылительной системой. При импульсном среднечастотном питании распыление диэлектрических мишеней невозможно, но работа в среде реактивных газов, образующих диэлектрики облегчается.

31.05.2017 10:53, Дарья

Добрый день. Какая программа позволяет считывать данные с ИП ApEL-M-5PDC.

07.06.2017 14:49, Павлов Артем Павлович

Дарья, добрый день. Программ управления как таковых у нас нет. Есть протокол RTU ModBus и с блоком по нему общается система автоматизации. Для небольших тестов я бы порекомендовал modpoll, QModBus.

10.04.2017 20:11, Виталий

ВЧ источники для магнетронов делаете?

16.04.2017 20:14, Павлов Артем Павлович

Виталий, добрый день. Пока не делаем, но будем.

19.01.2017 17:10, Павел

Здравствуйте, интересует цена источника питания дуальных магнетронов,общая мощность 12кВт (600В) Наносить необходимо пленки оксида металлов на PET подложку. По возможности хотелось бы рассмотреть варианты с асимметричными и сим. импульсами.

25.01.2017 12:42, Павлов Артем Павлович

Павел, добрый день. Симметричный блок будет стоить 333 тыс., а асимметричный 420 тыс.

28.11.2016 15:36, Никита

Здравствуйте. скажите в модели apel-m-5pdc кроме назначения адреса есть установки скорости обмена данных?

29.11.2016 15:47, Павлов Артем Павлович

Никита, добрый день. В совсем старых моделях, выпущенных до конца 2013 года была одна фиксированная скорость 19200 или 115200, в зависимости от пожеланий. Более поздние модели имели другую прошивку, и там скорость и формат кадра настраивались таким же образом, как и в современных моделях.

19.10.2016 13:29, Алексей

Добрый день, какой источник питания лучше использовать для магнетронного распыление резистивного сплава "Кермет" К-50С (РС-4800/С44-1)?

21.10.2016 12:44, Павлов Артем Павлович

Алексей, для распыления резистивных сплавов у нас обычно приобретают блоки с выходным напряжением до 1000 В, т.к. напряжение горения разряда высокое. Т.к. в мишени присутствуют диэлектрические примеси, то лучше распылять ее биполярным источником питания. Однако тут нет гарантии что диэлектрик будет полностью распыляться, возможно часть его будет выпадать в виде пыли.

26.09.2016 14:50, Сергей

Здравствуйте! В документации на блоки, в частности на APEL-M-10PDC-1000-3, не указаны габаритные размеры блока. Это на мой взгляд - упущение. Интересует глубина блока, от этого зависит какую стойку применить в проекте.

26.09.2016 16:19, Павлов Артем Павлович

Сергей, добрый день. Чертежи есть, но отдельно от руководств пока. Вышлю Вам на почту.

20.09.2016 15:17, Николай

Здравствуйте. У меня вопрос по блоку APEL-M-5DC-1000-2. Там есть два режима работы - постоянный ток или импульсный режим. В чём отличия между этими режимами и в каком из них лучше производить напыление?

20.09.2016 17:29, Павлов Артем

Николай, добрый день. На постоянном токе пылится все, что может пылится. Обычно этот режим имеет самую большую скорость напыления. Импульсный режим обычно имеет меньшую скорость напыления, но позволяет предотвратить дугообразование и повысить степень ионного воздействия на подложку. Плазма в паузах между импульсами снимает заряд с диэлектрических островков на поверхности мишени, которые являются источником дуг. Островки эти являются оксидными/нитридными и др. пленками, каплями масла, и пр. Если говорить о скорости, то алюминий в отравленном состоянии на постоянном токе очень сложно оттренеровать. В импульсном режиме гораздо проще.

20.09.2016 16:43, Павлов Артем

Николай, добрый день. На постоянном токе пылят все что можно пылить, обычно металлы. Но, например, алюминий довольно проблематично пылить на постоянном токе, когда камера только откачалась и мишень отравлена, или старые насосы дают не чистый вакуум, а с парами масла. В таком случае неизбежно дугообразование. В импульсном режиме разряд горит не постоянно. В паузах между импульсами происходит компенсация зарядов на диэлектрических отровках поверхности мишени, что приводит к предотвращению дугообразования. Постепенно диэлектрические островки распыляются и мишень оттренировывается. Также в импульсном режиме повышается концентрация плазмы, и можно увеличить степень ионного воздействия на подложку.

26.08.2016 19:51, Игорь Тысячник

Здравствуйте! Цены, указанные в прайсе, актуальны сегодня?

03.09.2016 20:50, Павлов Артем Павлович

Игорь, цены пока актуальны, но возможно повышение до нового года на 5-10 %.