Смотрите также другие разделы, касающиеся сильноточного импульсного магнетронного распыления:
- HIPIMS DU – источники питания для дуального сильноточного магнетронного распыления;
- MPPMS – серия источников питания, обеспечивающих модулированное магнетронное распыление импульсами высокой мощности;
- HIPIMS – униполярные импульсные источники питания для сильноточного магнетронного распыления;
- HIPIMS BP – источники питания, формирующие биполярные ассиметричные импульсы (положительные импульсы тока имеют небольшой амплитуды и предназначены для компенсирования зарядов в процессах реактивного магнетронного распыления);
- HIPIMS+MF(DC) – система электропитания, совмещающая сильноточное импульсное магнетронное распыление с обычным распылением на постоянном токе или импульсным среднечастотным;
- Комбинированные системы: HIPIMS+MF+bias, HIPIMS DU+SB, HIPIMS DU+MF+SB.
Оформить заказ
