Главная — Каталог — Источники питания для магнетронного распыления импульсами высокой мощности — Дуальное импульсное сильноточное магнетронное распыление
Дуальное импульсное сильноточное магнетронное распыление
Серия: HIPIMS DU
Оформить заказ
|
Для питания дуальных магнетронных распылительных систем, работающих в режиме сильноточного импульсного распыления, разработана серия импульсных источников APEL-HIPIMS DU. Как показано на рис. 1, в состав системы электропитания входит два сильноточных блока. Отрицательные выходы блоков соединены с катодами магнетронной распылительной системы. Положительные выводы соединяются между собой. Общая точка блоков может быть посажена на землю или соединена с камерой. Конфигурация подключения общей точки оказывает влияние на работу системы и выбирается исходя из конкретных требований.
Рис. 1. Схема сильноточного импульсного источника питания для дуальных магнетронных распылительных систем. Преимущество данной системы заключается в возможности независимой регулировки амплитуды и длительности выходных импульсов. Кроме того, возможна реализация различных режимов питания, которые рассматриваются далее. Вы можете перейти в другие разделы, касающиеся сильноточного импульсного магнетронного распыления:
|
