Смотрите также другие разделы, касающиеся сильноточного импульсного магнетронного распыления:
- HIPIMS BP - биполярные источники питания для сильноточного импульсного магнетронного распыления
- HIPIMS+MF(DC) - комбинированные системы электропитания, объединяющие сильноточное импульсное магнетронное распыление c распылением на постоянном токе (DCms) или среднечастотным импульсным распылением (MFms)
- HIPIMS+SB - системы электропитание, обеспечивающие формирование сильноточных импульсов для питания магнетронных распылительных систем и сфазированных с ними импульсов смещения подложки
- HIPIMS DU - сильноточные импульсные источники питания для дуальных магнетронных распылительных систем
- MPPMS - источники электропитания для модулированного магнетронного распыления импульсами высокой мощности