Магнетронные распылительные системы

Магнетронные распылительные системы являются одной из основных «рабочих лошадок» в технологиях нанесения тонкопленочных покрытий. В последние 10 – 15 лет создан  целый ряд модификаций магнетронов, имеющих очень привлекательные особенности.
ООО "Прикладная Электроника" предлагает ряд своих разработок магнетронных распылительных систем:

• магнетроны с вращающимися цилиндрическими катодами длиной до 3 м,
• протяженные магнетроны с планарными катодами,
• магнетроны с плоскими круглыми катодами.

Все эти системы могут быть выполнены как в сбалансированной, так и в несбалансированной конфигурации, с прямым или косвенным охлаждением катода.

Если катод выполнен из металла, то обычно используется прямое охлаждение, т.е. распыляемая мишень крепится через вакуумное уплотнение непосредственно на канал водоохлаждения. Если мишень керамическая, композиционная, хрупкая, или по каким то другим причинам не обеспечивает механической прочности и вакуумной плотности, то используется косвенное охлаждение мишени. В этом случае мишень напаивается или приклеивается к медной основе.
В протяженных магнетронах с вращающейся цилиндрической мишенью, за счет непрерывного вращения мишени относительно неподвижной магнитной системы, достигается высокая степень использования материала мишени (до 70% вместо 25% в обычных конструкциях). Это очень важно в случае распыления дорогих материалов и для высокопроизводительных установок, где требуется увеличивать промежуток времени между регламентными работами.
 Особенностью несбалансированных магнетронных распылительных систем является возможность создания плазмы высокой концентрации вблизи подложки, что позволяет поднять плотность ионного тока на подложку с долей мА/см² до нескольких мА/см². Повышение интенсивности ионной бомбардировки растущей пленки позволяет радикальным образом влиять на ее характеристики, в частности создавать метастабильные фазы, формировать нанокомпозитные структуры и т.д.
Какой тип магнетронной распылительной системы предпочтительнее использовать, зависит от конкретной технологической задачи.

Мы готовы поделиться своим опытом и помочь с выбором оптимальной для решения Ваших задач конструкции магнетрона.