Вопрос-ответ

20.09.2016 15:17, Николай

Здравствуйте. У меня вопрос по блоку APEL-M-5DC-1000-2. Там есть два режима работы - постоянный ток или импульсный режим. В чём отличия между этими режимами и в каком из них лучше производить напыление?

20.09.2016 17:29, Павлов Артем

Николай, добрый день. На постоянном токе пылится все, что может пылится. Обычно этот режим имеет самую большую скорость напыления. Импульсный режим обычно имеет меньшую скорость напыления, но позволяет предотвратить дугообразование и повысить степень ионного воздействия на подложку. Плазма в паузах между импульсами снимает заряд с диэлектрических островков на поверхности мишени, которые являются источником дуг. Островки эти являются оксидными/нитридными и др. пленками, каплями масла, и пр. Если говорить о скорости, то алюминий в отравленном состоянии на постоянном токе очень сложно оттренеровать. В импульсном режиме гораздо проще.

20.09.2016 16:43, Павлов Артем

Николай, добрый день. На постоянном токе пылят все что можно пылить, обычно металлы. Но, например, алюминий довольно проблематично пылить на постоянном токе, когда камера только откачалась и мишень отравлена, или старые насосы дают не чистый вакуум, а с парами масла. В таком случае неизбежно дугообразование. В импульсном режиме разряд горит не постоянно. В паузах между импульсами происходит компенсация зарядов на диэлектрических отровках поверхности мишени, что приводит к предотвращению дугообразования. Постепенно диэлектрические островки распыляются и мишень оттренировывается. Также в импульсном режиме повышается концентрация плазмы, и можно увеличить степень ионного воздействия на подложку.

26.08.2016 19:51, Игорь Тысячник

Здравствуйте! Цены, указанные в прайсе, актуальны сегодня?

03.09.2016 20:50, Павлов Артем Павлович

Игорь, цены пока актуальны, но возможно повышение до нового года на 5-10 %.

24.08.2016 13:56, Раиль

Производите ли Вы ВЧ генераторы+согласующее устройство для магнетронов мощностью 1 кВт

03.09.2016 20:49, Павлов Артем Павлович

Раиль, пока не производим, но планируем этим делом заняться.

04.07.2016 08:34, Александр

Здравствуйте. Планируем в обозримом будущем собирать pvd вакуумную установку для распыления преимущественно маслопроводящих мишеней(например графит). Судя по документации ваших магнетронов, вы используете неодимовые магниты, рабочая температура которых колеблется от 80 до 220( ну или около того). Интересует вопрос эффективности охлаждения, т.е. как можно оценить(в зависимости от материала мишени) тепловыделение на мишень и магнетрон при достаточно длительно эксперименте (приблизительно 1 час), чтобы не испортить магнетрон?

05.07.2016 16:41, Павлов Артем

Александр, способов испортить магнетрон существует множество. Самый простой - применить вместо воды какую-нибудь охлаждающую жидкость на основе этиленгликоля и антикоррозионных присадок. Что касается перегрева, то здесь применительно к нашим небольшим круглым магнетронам возможны два случая. Первый случай касается мишеней с прямым охлаждением. В таких максимальная тепловая мощность определяется как 100 Вт/см трека распыления. В реальности до 3 кВт на 100 мм магнетроне. Если мишень с косвенным охлаждением, к которым относится графит из-за его пористости, то все упирается в тепловое сопротивление самого графита, а также термостойкость резинок. Дело в том, что при перегреве мишени ее начинает пучить, и она примыкает к магнетрону только краями. На краю находится резинка. Если она обычная, то уже на 80-100 градусах она поплывет и магнетрон даст течь. Магниты отпуститься не успеют. Если резинка силиконовая, то температура поднимется выше, однако не заметить, что вода в магнетроне уже кипит мягко говоря очень сложно. Дело в том, что максимальная температура жидкости на выходе магнетрона не должна превышать 50-60 градусов.

03.06.2016 16:51, АЛЕКСАНДР

По информации вашего сайта имеется в наличии источник питания APEL-M-5PDC-650-2, насколько достоверна эта информация и можете ли вы выставить счет и договор на поставку в Воронеж

05.06.2016 19:47, Павлов Артем Павлович

Александр, добрый день. Блоки действительно в наличии.

10.05.2016 15:28, Татьяна

Добрый день, меня интересуют мишени для магнетронного распыления. Есть ли у вам возможность изготовить мишени диаметром 60 мм и высотой 5 мм из следующих материалов, и выслать коммерческое предложение на их изготовление: Al (99,99 %), Cr (99,95 %), Mo (99,95 %), Y (99,99 %), Mg (99,99 %), Fe (99,9 %).

11.05.2016 10:31, Павлов Артем Павлович

Татьяна, добрый день. Мы, к сожалению, не занимаемся изготовлением мишеней. Только в перспективе.

26.04.2016 18:04, Андрей Владимирович

Добрый день! На ваших установках можно осуществлять нанесение антибликовых радиационно стойких покрытий на радиационно-стойкие стекла?

27.04.2016 14:23, Павлов Артем Павлович

Добрый день, Андрей Владимирович. Метод магнетронного напыления позволяет наносить практически любые тонкопленочные покрытия. Полагаю, что он подойдет и для радиационно-стойких покрытий. Здесь больше вопрос в том, что именно необходимо наносить, в какой последовательности и какой толщины.

08.02.2016 12:53, Анна

Добрый день, сориентируйте стоимость источник питания смещения подложки на 1500 В ,20А

09.02.2016 20:52, Павлов Артем Павлович

Анна, добрый день. Такой источник будет стоит 910 или 1140 тыс. рублей, в зависимости от того, какой нужен униполярный/биполярный.

03.12.2015 10:43, Антон Викторович

Здравствуйте, добавьте пожалуйста описание для APEL-SB-12PDC-800-2 (800 В, 12 кВт) Всего доброго!!!

08.12.2015 15:52, Павлов Артем Павлович

Антон Викторович , добрый день. Руководство выложены. Серия M и SB отличаются только наличием поджига, если будет потребность срочно посмотреть параметры, смотрите аналогичнй источник из серии М.

03.11.2015 15:30, Александр Владимирович

нужен источник для очистки инструментов в вакууме. В старой установке был режим очистки в тлеющем разряде. В модернизирумую нужно что-то в этом духе. Ваши блоки питания для ионных источников с этой задаче справляются ? Условия работы - учебный процесс, немного науки

04.11.2015 13:21, Павлов Артем Павлович

Александр Владимирович, мы никогда не испытывали источники серии APEL-IS на работу с тлеющим разрядом. Более того, у них специфичное дугогашение. Вам лучше посмотреть в сторону источников серии APEL-SB с напряжением от 1500 до 2000 В. Блок питания смещения умеет работать в импульсном режиме, что очень хорошо сказывается на стабильности тлеющего разряда.