Вопрос-ответ

24.08.2016 13:56, Раиль

Производите ли Вы ВЧ генераторы+согласующее устройство для магнетронов мощностью 1 кВт

03.09.2016 20:49, Павлов Артем Павлович

Раиль, пока не производим, но планируем этим делом заняться.

04.07.2016 08:34, Александр

Здравствуйте. Планируем в обозримом будущем собирать pvd вакуумную установку для распыления преимущественно маслопроводящих мишеней(например графит). Судя по документации ваших магнетронов, вы используете неодимовые магниты, рабочая температура которых колеблется от 80 до 220( ну или около того). Интересует вопрос эффективности охлаждения, т.е. как можно оценить(в зависимости от материала мишени) тепловыделение на мишень и магнетрон при достаточно длительно эксперименте (приблизительно 1 час), чтобы не испортить магнетрон?

05.07.2016 16:41, Павлов Артем

Александр, способов испортить магнетрон существует множество. Самый простой - применить вместо воды какую-нибудь охлаждающую жидкость на основе этиленгликоля и антикоррозионных присадок. Что касается перегрева, то здесь применительно к нашим небольшим круглым магнетронам возможны два случая. Первый случай касается мишеней с прямым охлаждением. В таких максимальная тепловая мощность определяется как 100 Вт/см трека распыления. В реальности до 3 кВт на 100 мм магнетроне. Если мишень с косвенным охлаждением, к которым относится графит из-за его пористости, то все упирается в тепловое сопротивление самого графита, а также термостойкость резинок. Дело в том, что при перегреве мишени ее начинает пучить, и она примыкает к магнетрону только краями. На краю находится резинка. Если она обычная, то уже на 80-100 градусах она поплывет и магнетрон даст течь. Магниты отпуститься не успеют. Если резинка силиконовая, то температура поднимется выше, однако не заметить, что вода в магнетроне уже кипит мягко говоря очень сложно. Дело в том, что максимальная температура жидкости на выходе магнетрона не должна превышать 50-60 градусов.

03.06.2016 16:51, АЛЕКСАНДР

По информации вашего сайта имеется в наличии источник питания APEL-M-5PDC-650-2, насколько достоверна эта информация и можете ли вы выставить счет и договор на поставку в Воронеж

05.06.2016 19:47, Павлов Артем Павлович

Александр, добрый день. Блоки действительно в наличии.

10.05.2016 15:28, Татьяна

Добрый день, меня интересуют мишени для магнетронного распыления. Есть ли у вам возможность изготовить мишени диаметром 60 мм и высотой 5 мм из следующих материалов, и выслать коммерческое предложение на их изготовление: Al (99,99 %), Cr (99,95 %), Mo (99,95 %), Y (99,99 %), Mg (99,99 %), Fe (99,9 %).

11.05.2016 10:31, Павлов Артем Павлович

Татьяна, добрый день. Мы, к сожалению, не занимаемся изготовлением мишеней. Только в перспективе.

26.04.2016 18:04, Андрей Владимирович

Добрый день! На ваших установках можно осуществлять нанесение антибликовых радиационно стойких покрытий на радиационно-стойкие стекла?

27.04.2016 14:23, Павлов Артем Павлович

Добрый день, Андрей Владимирович. Метод магнетронного напыления позволяет наносить практически любые тонкопленочные покрытия. Полагаю, что он подойдет и для радиационно-стойких покрытий. Здесь больше вопрос в том, что именно необходимо наносить, в какой последовательности и какой толщины.

08.02.2016 12:53, Анна

Добрый день, сориентируйте стоимость источник питания смещения подложки на 1500 В ,20А

09.02.2016 20:52, Павлов Артем Павлович

Анна, добрый день. Такой источник будет стоит 910 или 1140 тыс. рублей, в зависимости от того, какой нужен униполярный/биполярный.

03.12.2015 10:43, Антон Викторович

Здравствуйте, добавьте пожалуйста описание для APEL-SB-12PDC-800-2 (800 В, 12 кВт) Всего доброго!!!

08.12.2015 15:52, Павлов Артем Павлович

Антон Викторович , добрый день. Руководство выложены. Серия M и SB отличаются только наличием поджига, если будет потребность срочно посмотреть параметры, смотрите аналогичнй источник из серии М.

03.11.2015 15:30, Александр Владимирович

нужен источник для очистки инструментов в вакууме. В старой установке был режим очистки в тлеющем разряде. В модернизирумую нужно что-то в этом духе. Ваши блоки питания для ионных источников с этой задаче справляются ? Условия работы - учебный процесс, немного науки

04.11.2015 13:21, Павлов Артем Павлович

Александр Владимирович, мы никогда не испытывали источники серии APEL-IS на работу с тлеющим разрядом. Более того, у них специфичное дугогашение. Вам лучше посмотреть в сторону источников серии APEL-SB с напряжением от 1500 до 2000 В. Блок питания смещения умеет работать в импульсном режиме, что очень хорошо сказывается на стабильности тлеющего разряда.

02.11.2015 16:31, Владимир

Хотелось бы узнать Ваше мнение о так называемом высокоскоростном магнетронном напылении – со скоростью напыления до 150 мкм/час (http://www.nacotechnologies.com/rus/technology/hsipms/, http://npatom.ru/products/technologies/vacuum-methods/). Похоже, этот вариант не имеет широкого распространения сегодня. В чём там суть? Каковы, на Ваш взгляд, там ограничения и трудности?

04.11.2015 13:18, Павлов Артем Павлович

Владимир, ссылки конечно интересные, однако указание скорости напыления без указания напыляемого материала выглядит некорректным в виду того, что у разных материалов разная скорость напыления. Многое зависит от способа размещения подложки, т.к. часть материала все равно не попадает на подложку. Мы занимаемся обычным магнетронным напылением, а также сильноточным магнетронным напылением. При переходе к сильноточному магнетронному распылению на обычном магнетроне скорость падает, т.к. аргон лучше распыляет мишень чем атомы материала мишени. Зарубежные коллеги вроде как решили эту проблему путем изменения конфигурации магнитного поля, но мы таких экспериментов еще не проводили, да и технология сильноточного магнетронного напыления имеет специфичный круг применений. Если увеличивать давление воды и скорость ее протока через магнетрон, можно увеличить мощность магнетрона, и повысить скорость напыления. Однако не стоит забывать о том, что подложка при магнетронном напылении тоже греется, и она она может перегреться и расплавиться. Более того, не все подложки можно перегревать, т.к. они могут поменять свои физико-механические свойства, что не всегда допустимо. Большое давление воды в магнетроне плохо на него сказывается. Увеличивается вероятность протечек. Тонкие мишени гнет давлением и а прорыв воды при выработке мишени произойдет значительно раньше.

30.10.2015 14:34, Владимир

Здравствуйте. Нас интересует возможность напыления хрома на металлический стержень диаметром 10 – 20 мм и длиной 6 – 7 метров. Возможно ли изготовление протяженного магнетрона с вращающимся цилиндрическим катодом из хрома такой длины?

04.11.2015 13:02, Павлов Артем Павлович

Владимир, здравствуйте. Изготовить такой магнетрон конечно можно, но есть определенные ограничения. Т.к. длина большая, то необходимо знать диаметр магнетрона и способ его установки (вертикальный/горизонтальный). С другой стороны хром является пористым материалом, поэтому ему необходима труба-основание, которая исключит протечки. Замена мишеней на 8-метровом магнетроне - долгий и утомительный процесс, т.к. скорее всего придется устанавливать на трубу-основание ряд подогнанных и проточенных трубчатых мишеней из хрома.