Технические описания

1. ДОКУМЕНТАЦИЯ НА ИСТОЧНИКИ ПИТАНИЯ

Источники питания для магнетронных распылительных систем (МРС)

• APEL-M-1.5PDC-650-1 (1.5 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5PDC-650-2 (1.5 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5PDC-800-1 (1.5 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5PDC-800-2 (1.5 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5PDC-1000-1 (1.5 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов)(pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5PDC-1000-2 (1.5 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5PDC-650-1 (5 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5PDC-650-2 (5 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5PDC-800-1 (5 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5PDC-800-2 (5 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5PDC-1000-1 (5 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов)(pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5PDC-1000-2 (5 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10PDC-650-1 (10 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10PDC-650-2 (10 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10PDC-800-1 (10 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10PDC-800-2 (10 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10PDC-1000-1 (10 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов)(pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10PDC-1000-2 (10 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12PDC-650-1 (12 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12PDC-650-2 (12 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12PDC-800-1 (12 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12PDC-800-2 (12 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12PDC-1000-1 (12 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов)(pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12PDC-1000-2 (12 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5BP-650-1 (1.5 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5BP-650-2 (1.5 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5BP-800-1 (1.5 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5BP-800-2 (1.5 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5BP-1000-1 (1.5 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов)(pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-1.5BP-1000-2 (1.5 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5BP-650-1 (5 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5BP-650-2 (5 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5BP-800-1 (5 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5BP-800-2 (5 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5BP-1000-1 (5 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов)(pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5BP-1000-2 (5 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-650-1 (10 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-650-2 (10 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-650-3 (10 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-800-1 (10 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-800-2 (10 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-800-3 (10 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-1000-1 (10 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов)(pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-1000-2 (10 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-10BP-1000-3 (10 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-650-1 (12 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-650-2 (12 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-650-3 (12 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-800-1 (12 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-800-2 (12 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-800-3 (12 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-1000-1 (12 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов)(pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-1000-2 (12 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-12BP-1000-3 (12 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)

Источники питания для смещения подложки

• APEL-SB-1.5PDC-300-1 (1.5 кВт, до 300 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-1.5PDC-300-2 (1.5 кВт, до 300 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-1.5PDC-650-1 (1.5 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-1.5PDC-650-2 (1.5 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-1.5PDC-800-1 (1.5 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-1.5PDC-800-2 (1.5 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-1.5PDC-1000-1 (1.5 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-1.5PDC-1000-2 (1.5 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-300-1 (5 кВт, до 300 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-300-2 (5 кВт, до 300 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-650-1 (5 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-650-2 (5 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-800-1 (5 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-800-2 (5 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-1000-1 (5 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-1000-2 (5 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-1300-1 (5 кВт, до 1300 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-5PDC-1500-1 (5 кВт, до 1500 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-10PDC-650-1 (10 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-10PDC-650-2 (10 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-10PDC-800-1 (10 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-10PDC-800-2 (10 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-10PDC-1000-1 (10 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-10PDC-1000-2 (10 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-12PDC-650-1 (12 кВт, до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-12PDC-650-2 (12 кВт, до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-12PDC-800-1 (12 кВт, до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-12PDC-800-2 (12 кВт, до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-12PDC-1000-1 (12 кВт, до 1000 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-SB-12PDC-1000-2 (12 кВт, до 1000 В, с переключателем выходов) (pdf, 1,3 MБ)

Источник питания для ионных источников

• APEL-IS-2000 (до 2000 В, 1000 мА) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-IS-3500 (до 3500 В, 600 мА) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-IS-5000 (до 5000 В, 400 мА) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-IS-2000-N (до 2000 В, 1000 мА, отрицательная полярность) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-IS-3500-N (до 3500 В, 600 мА, отрицательная полярность) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-IS-5000-N (до 5000 В, 400 мА, отрицательная полярность) (pdf, 1,3 MБ)

Высоковольтные импульсные источники питания

• APEL-HV-2 Высоковольтный импульсный источник питания с выходным напряжением до 2 кВ (pdf, 0,4 MB)
• APEL-HV-15 Высоковольтный импульсный источник питания с выходным напряжением до 2 кВ (pdf, 0,7 MB)

2. ДОКУМЕНТАЦИЯ НА МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

• Круглые магнетроны с фланцевым креплением и электромагнитной регулировкой степени несбалансированности APEL-MRE (pdf, 670 kB)
• Сбалансированные и несбалансированные круглые магнетроны для размещения внутри вакуумной камеры APEL-MR-IN (pdf, 450 kB)
• Вращающийся магнетрон APEL-MLC (pdf, 2 MB)

3. ДОКУМЕНТАЦИЯ НА ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ

• Протяженные ионные источники с замкнутым дрейфом электронов APEL-IS-L200 (pdf, 500 kB)
• Многоячейковый ионный источник с замкнутым дрейфом электронов APEL-IS-7CELL (pdf, 1,2 MB)
• Многоячейковый ионный источник с замкнутым дрейфом электронов APEL-IS-21Cell (pdf, 1,2 MB)

4. АРХИВ

Источники питания для магнетронных распылительных систем (МРС)

• APEL-M-3PDC (Источник снят с производства) Источник питания для МРС мощностью 3 кВт (pdf, 1,159 MB)
  
• APEL-M-5PDC-650-1 Источник питания для МРС мощностью 5 кВт (до 650 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-M-5PDC-650-2 Источник питания для МРС мощностью 5 кВт (до 650 В, с переключателем выходов) (pdf, 2.1 МБ)
• APEL-M-5PDC-800-1 Источник питания для МРС мощностью 5 кВт (до 800 В, без переключателя выходов) (pdf, 1,1 MБ)
• APEL-M-5PDC-800-2 Источник питания для МРС мощностью 5 кВт (до 800 В, с переключателем выходов) (pdf, 2.3 МБ)
• APEL-M-5PDC-J Power supply for the magnetron sputtering systems (pdf. 915kB)
• APEL-M-12PDC Источник питания для МРС мощностью 12 кВт (pdf, 1,1 MB)
• APEL-M-60BP-660 Биполярный источник питания для мощных МРС (до 80 кВт) (pdf. 1,5 MB)

Источники питания для смещения подложки

• APEL-SB-650-5 Источник питания для смещения подложки мощностью 5 кВт (pdf, 1 MB)
• APEL-SB-650-12 Источник питания для смещения подложки мощностью 12 кВт (pdf, 1,1 MB)
• APEL-SB-1200-5 Источник питания для смещения подложки мощностью 5 кВт (pdf. 1 MB)

Источник питания для ионных источников

• APEL-IS-2000 (до 2016 года выпуска) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-IS-3500 (до 2016 года выпуска) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-IS-5000 (до 2016 года выпуска) (pdf, 1,3 MБ)
• APEL-IS-2000 (до 2013 года выпуска) (pdf, 1 MB)
• APEL-IS-3500 (до 2013 года выпуска) (pdf, 1 MB)
• APEL-IS-5000 (до 2013 года выпуска) (pdf, 1 MB)